摩擦学学报
摩抆學學報
마찰학학보
TRIBOLOGY
2001年
6期
401-404
,共4页
王金清%杨生荣%齐尚奎%余来贵
王金清%楊生榮%齊尚奎%餘來貴
왕금청%양생영%제상규%여래귀
单晶硅%全氟聚醚润滑膜%接触角%摩擦特性
單晶硅%全氟聚醚潤滑膜%接觸角%摩抆特性
단정규%전불취미윤활막%접촉각%마찰특성
利用浸涂技术在单晶硅基片上成功地制备出极性全氟聚醚润滑膜,在DF-PM型动-静摩擦系数精密测定装置上考察了润滑膜的摩擦特性,并采用接触角测定仪和X射线光电子能谱仪对润滑膜的表面性质和化学状态进行了表征.结果表明,与基片相比,经烘烤处理后的全氟聚醚润滑膜同钢对摩时的摩擦系数显著降低.经60次摩擦后,摩擦系数迅速增大到0.22左右,此时润滑膜被磨穿;此后摩擦系数缓慢增加,当摩擦次数达到200次左右时,摩擦系数稳定于0.42附近,低于单晶硅片相应的摩擦系数.这可能是由于基片表面的全氟聚醚在滑动过程中向钢球表面发生转移所致.
利用浸塗技術在單晶硅基片上成功地製備齣極性全氟聚醚潤滑膜,在DF-PM型動-靜摩抆繫數精密測定裝置上攷察瞭潤滑膜的摩抆特性,併採用接觸角測定儀和X射線光電子能譜儀對潤滑膜的錶麵性質和化學狀態進行瞭錶徵.結果錶明,與基片相比,經烘烤處理後的全氟聚醚潤滑膜同鋼對摩時的摩抆繫數顯著降低.經60次摩抆後,摩抆繫數迅速增大到0.22左右,此時潤滑膜被磨穿;此後摩抆繫數緩慢增加,噹摩抆次數達到200次左右時,摩抆繫數穩定于0.42附近,低于單晶硅片相應的摩抆繫數.這可能是由于基片錶麵的全氟聚醚在滑動過程中嚮鋼毬錶麵髮生轉移所緻.
이용침도기술재단정규기편상성공지제비출겁성전불취미윤활막,재DF-PM형동-정마찰계수정밀측정장치상고찰료윤활막적마찰특성,병채용접촉각측정의화X사선광전자능보의대윤활막적표면성질화화학상태진행료표정.결과표명,여기편상비,경홍고처리후적전불취미윤활막동강대마시적마찰계수현저강저.경60차마찰후,마찰계수신속증대도0.22좌우,차시윤활막피마천;차후마찰계수완만증가,당마찰차수체도200차좌우시,마찰계수은정우0.42부근,저우단정규편상응적마찰계수.저가능시유우기편표면적전불취미재활동과정중향강구표면발생전이소치.
