半导体学报
半導體學報
반도체학보
CHINESE JOURNAL OF SEMICONDUCTORS
2001年
9期
1202-1206
,共5页
那兴波%牛文成%李华伟%谢建湘
那興波%牛文成%李華偉%謝建湘
나흥파%우문성%리화위%사건상
FET结构%Pt-LaF3混合膜%溶解氧传感器
FET結構%Pt-LaF3混閤膜%溶解氧傳感器
FET결구%Pt-LaF3혼합막%용해양전감기
研制了一种基于FET结构的Pt-LaF3混合膜全固态溶解氧传感器.对Pt-LaF3敏感膜的敏感机制以及传感器的器件结构和响应特性进行了分析,并实际测试了器件特性,给出了在不同工作点和不同温度条件下器件的输出电压对溶解氧浓度变化的响应曲线.
研製瞭一種基于FET結構的Pt-LaF3混閤膜全固態溶解氧傳感器.對Pt-LaF3敏感膜的敏感機製以及傳感器的器件結構和響應特性進行瞭分析,併實際測試瞭器件特性,給齣瞭在不同工作點和不同溫度條件下器件的輸齣電壓對溶解氧濃度變化的響應麯線.
연제료일충기우FET결구적Pt-LaF3혼합막전고태용해양전감기.대Pt-LaF3민감막적민감궤제이급전감기적기건결구화향응특성진행료분석,병실제측시료기건특성,급출료재불동공작점화불동온도조건하기건적수출전압대용해양농도변화적향응곡선.
