原子核物理评论
原子覈物理評論
원자핵물리평론
Nuclear Physics Review
2005年
1期
148-152
,共5页
施立群%金钦华%刘超卓%徐世林%周筑颖
施立群%金欽華%劉超卓%徐世林%週築穎
시립군%금흠화%류초탁%서세림%주축영
氦%损伤%泡%钛膜%溅射沉积
氦%損傷%泡%鈦膜%濺射沉積
양%손상%포%태막%천사침적
研究了用He/Ar混合溅射气体的直流磁控溅射制备钛膜中He的掺入现象.分析结果表明,大量的He原子(He/Ti原子比高达56%) 被均匀地引入到Ti膜中,He含量可由混合溅射气体的He分量精确控制.通过调节溅射参数,可实现样品中He的低损伤引入.研究还发现,溅射沉积的含氦Ti膜具有较高的He成泡剂量和高的固He能力,这可能是溅射沉积形成了纳米晶Ti膜所致.纳米晶Ti膜较粗晶材料具有很高浓度的He捕陷中心,使He泡密度增大而泡尺寸减小.随He引入量的增加,Ti膜的晶粒尺寸减小,He引起的晶体点阵参数和X射线衍射峰宽度增大,晶体的无序程度增加.
研究瞭用He/Ar混閤濺射氣體的直流磁控濺射製備鈦膜中He的摻入現象.分析結果錶明,大量的He原子(He/Ti原子比高達56%) 被均勻地引入到Ti膜中,He含量可由混閤濺射氣體的He分量精確控製.通過調節濺射參數,可實現樣品中He的低損傷引入.研究還髮現,濺射沉積的含氦Ti膜具有較高的He成泡劑量和高的固He能力,這可能是濺射沉積形成瞭納米晶Ti膜所緻.納米晶Ti膜較粗晶材料具有很高濃度的He捕陷中心,使He泡密度增大而泡呎吋減小.隨He引入量的增加,Ti膜的晶粒呎吋減小,He引起的晶體點陣參數和X射線衍射峰寬度增大,晶體的無序程度增加.
연구료용He/Ar혼합천사기체적직류자공천사제비태막중He적참입현상.분석결과표명,대량적He원자(He/Ti원자비고체56%) 피균균지인입도Ti막중,He함량가유혼합천사기체적He분량정학공제.통과조절천사삼수,가실현양품중He적저손상인입.연구환발현,천사침적적함양Ti막구유교고적He성포제량화고적고He능력,저가능시천사침적형성료납미정Ti막소치.납미정Ti막교조정재료구유흔고농도적He포함중심,사He포밀도증대이포척촌감소.수He인입량적증가,Ti막적정립척촌감소,He인기적정체점진삼수화X사선연사봉관도증대,정체적무서정도증가.
