材料研究学报
材料研究學報
재료연구학보
CHINESE JOURNAL OF MATERIALS RESEARCH
2005年
1期
64-71
,共8页
马爱华%郑华%刘实%王隆保
馬愛華%鄭華%劉實%王隆保
마애화%정화%류실%왕륭보
金属材料%磁控溅射%Ti合金薄膜%贮氢
金屬材料%磁控濺射%Ti閤金薄膜%貯氫
금속재료%자공천사%Ti합금박막%저경
采用磁控溅射方法制备了Ti膜及TiMo、TiMoYAl和TiZrYAl等三种合金膜.合金膜中Mo、Zr和Al三种元素成份与靶材成分基本一致,而Y元素则与靶材成分有较大的偏差.在400℃吸氢工艺下,四种膜材的吸氢动力学性能良好,没有脱膜现象,饱和吸氢量均可超过1.5(H/M).膜材的吸氢PCT曲线表明,含Mo合金膜材具有最高的吸氢平衡压,外推出的室温下的数量级约为10-4Pa.
採用磁控濺射方法製備瞭Ti膜及TiMo、TiMoYAl和TiZrYAl等三種閤金膜.閤金膜中Mo、Zr和Al三種元素成份與靶材成分基本一緻,而Y元素則與靶材成分有較大的偏差.在400℃吸氫工藝下,四種膜材的吸氫動力學性能良好,沒有脫膜現象,飽和吸氫量均可超過1.5(H/M).膜材的吸氫PCT麯線錶明,含Mo閤金膜材具有最高的吸氫平衡壓,外推齣的室溫下的數量級約為10-4Pa.
채용자공천사방법제비료Ti막급TiMo、TiMoYAl화TiZrYAl등삼충합금막.합금막중Mo、Zr화Al삼충원소성빈여파재성분기본일치,이Y원소칙여파재성분유교대적편차.재400℃흡경공예하,사충막재적흡경동역학성능량호,몰유탈막현상,포화흡경량균가초과1.5(H/M).막재적흡경PCT곡선표명,함Mo합금막재구유최고적흡경평형압,외추출적실온하적수량급약위10-4Pa.
