非水溶液SILAR法制备氧化钛薄膜
비수용액SILAR법제비양화태박막
Preparation of TiO2 Thin Films by Modified SILAR Method
  • 万方数据
    稀有金属材料与工程 희유금속재료여공정
    RARE METAL MATERIALS AND ENGINEERNG
    2005年 z2期 695-697 ,共3页

    刘晓新%靳正国%邱继军%步绍静%刘志锋%程志捷

    류효신%근정국%구계군%보소정%류지봉%정지첩

    SILAR%TiO2薄膜%非水溶液 SILAR%TiO2薄膜%非水溶液
    SILAR%TiO2박막%비수용액
    通过改变连续离子层吸附反应法(successive ionic layer adsorption and reaction,SILAR),在室温下,以TiCl4的乙醇溶液为前驱体,于玻璃衬底上制备了TiO2薄膜.使用扫描电镜对薄膜的表面形貌进行了观察,采用XRD分析了薄膜的晶体结构.该方法制备的薄膜致密、表面平整,沉积的薄膜为无定形态,550℃热处理为锐钛矿相TiO2.
    통과개변련속리자층흡부반응법(successive ionic layer adsorption and reaction,SILAR),재실온하,이TiCl4적을순용액위전구체,우파리츤저상제비료TiO2박막.사용소묘전경대박막적표면형모진행료관찰,채용XRD분석료박막적정체결구.해방법제비적박막치밀、표면평정,침적적박막위무정형태,550℃열처리위예태광상TiO2.
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