传感技术学报
傳感技術學報
전감기술학보
Journal of Transduction Technology
2006年
5期
1559-1562
,共4页
微执行器%柔性铰链%电热驱动微夹钳
微執行器%柔性鉸鏈%電熱驅動微夾鉗
미집행기%유성교련%전열구동미협겸
微执行器在整个微机电系统中直接面对其应用对象,需要满足定位精度高,稳定性好,响应速度快,控制方便的要求.柔性铰链以其特殊的性能广泛应用于操作执行器的设计应用中.以一种基于柔性铰链的电热驱动微夹钳为研究对象,通过实验和ANSYS有限元仿真分析对微夹钳的机械性能进行了分析,发现微夹钳端部的输出位移与输入电压基本呈线形关系.通过仿真分析探讨了柔性铰链结构尺寸变化对微夹钳性能的的影响.
微執行器在整箇微機電繫統中直接麵對其應用對象,需要滿足定位精度高,穩定性好,響應速度快,控製方便的要求.柔性鉸鏈以其特殊的性能廣汎應用于操作執行器的設計應用中.以一種基于柔性鉸鏈的電熱驅動微夾鉗為研究對象,通過實驗和ANSYS有限元倣真分析對微夾鉗的機械性能進行瞭分析,髮現微夾鉗耑部的輸齣位移與輸入電壓基本呈線形關繫.通過倣真分析探討瞭柔性鉸鏈結構呎吋變化對微夾鉗性能的的影響.
미집행기재정개미궤전계통중직접면대기응용대상,수요만족정위정도고,은정성호,향응속도쾌,공제방편적요구.유성교련이기특수적성능엄범응용우조작집행기적설계응용중.이일충기우유성교련적전열구동미협겸위연구대상,통과실험화ANSYS유한원방진분석대미협겸적궤계성능진행료분석,발현미협겸단부적수출위이여수입전압기본정선형관계.통과방진분석탐토료유성교련결구척촌변화대미협겸성능적적영향.