微细加工技术
微細加工技術
미세가공기술
MICROFABRICATION TECHNOLOGY
2007年
2期
36-40
,共5页
诸建彬%齐永光%孔德义%汪小华
諸建彬%齊永光%孔德義%汪小華
제건빈%제영광%공덕의%왕소화
痕量爆炸物%爆燃%硅梁
痕量爆炸物%爆燃%硅樑
흔량폭작물%폭연%규량
通过实验观察了痕量梯恩梯的爆燃现象及其规律,并在此基础上设计了一种集成有加热元件和检测元件的高灵敏度硅梁结构.有限元仿真结果表明,该硅梁升温迅速且温度分布均匀,能实现对纳克量级梯恩梯的检测.该项工作为下一步采用MEMS技术制作该硅梁敏感结构,进而研制新型便携式爆炸物探测器奠定了良好的基础.
通過實驗觀察瞭痕量梯恩梯的爆燃現象及其規律,併在此基礎上設計瞭一種集成有加熱元件和檢測元件的高靈敏度硅樑結構.有限元倣真結果錶明,該硅樑升溫迅速且溫度分佈均勻,能實現對納剋量級梯恩梯的檢測.該項工作為下一步採用MEMS技術製作該硅樑敏感結構,進而研製新型便攜式爆炸物探測器奠定瞭良好的基礎.
통과실험관찰료흔량제은제적폭연현상급기규률,병재차기출상설계료일충집성유가열원건화검측원건적고령민도규량결구.유한원방진결과표명,해규량승온신속차온도분포균균,능실현대납극량급제은제적검측.해항공작위하일보채용MEMS기술제작해규량민감결구,진이연제신형편휴식폭작물탐측기전정료량호적기출.
