光学精密工程
光學精密工程
광학정밀공정
OPTICS AND PRECISION ENGINEERING
2009年
1期
166-171
,共6页
曾毅波%王凌云%谷丹丹%孙道恒
曾毅波%王凌雲%穀丹丹%孫道恆
증의파%왕릉운%곡단단%손도항
湿法腐蚀%超声技术%表面粗糙度%激光共聚焦扫描显微镜%微机电系统
濕法腐蝕%超聲技術%錶麵粗糙度%激光共聚焦掃描顯微鏡%微機電繫統
습법부식%초성기술%표면조조도%격광공취초소묘현미경%미궤전계통
为了获得平滑的硅湿法腐蚀表面,在硅湿法腐蚀中引入超声技术.对超声湿法腐蚀系统进行了改进,以确保腐蚀溶液的顶部和底部温差在0.5 ℃之内.采用60 ℃,10 %质量分数的KOH溶液,在超声频率为59 kHz,超声功率为60～180 W(间隔10 W)条件下对(100)硅片进行湿法腐蚀.最后,运用激光共聚焦扫描显微镜(LSCM)对腐蚀后硅片表面粗糙度进行测量,并探讨超声参数的选择对腐蚀表面质量的影响.实验结果表明:超声功率在120 W时,可以获得平滑的腐蚀表面,表面粗糙度Rq值为0.020 μm.在湿法腐蚀系统中采用超声技术,可以明显改善腐蚀表面质量,在较低温度和较低浓度的KOH溶液中,选择合适的超声参数可获得高品质的腐蚀表面.
為瞭穫得平滑的硅濕法腐蝕錶麵,在硅濕法腐蝕中引入超聲技術.對超聲濕法腐蝕繫統進行瞭改進,以確保腐蝕溶液的頂部和底部溫差在0.5 ℃之內.採用60 ℃,10 %質量分數的KOH溶液,在超聲頻率為59 kHz,超聲功率為60～180 W(間隔10 W)條件下對(100)硅片進行濕法腐蝕.最後,運用激光共聚焦掃描顯微鏡(LSCM)對腐蝕後硅片錶麵粗糙度進行測量,併探討超聲參數的選擇對腐蝕錶麵質量的影響.實驗結果錶明:超聲功率在120 W時,可以穫得平滑的腐蝕錶麵,錶麵粗糙度Rq值為0.020 μm.在濕法腐蝕繫統中採用超聲技術,可以明顯改善腐蝕錶麵質量,在較低溫度和較低濃度的KOH溶液中,選擇閤適的超聲參數可穫得高品質的腐蝕錶麵.
위료획득평활적규습법부식표면,재규습법부식중인입초성기술.대초성습법부식계통진행료개진,이학보부식용액적정부화저부온차재0.5 ℃지내.채용60 ℃,10 %질량분수적KOH용액,재초성빈솔위59 kHz,초성공솔위60～180 W(간격10 W)조건하대(100)규편진행습법부식.최후,운용격광공취초소묘현미경(LSCM)대부식후규편표면조조도진행측량,병탐토초성삼수적선택대부식표면질량적영향.실험결과표명:초성공솔재120 W시,가이획득평활적부식표면,표면조조도Rq치위0.020 μm.재습법부식계통중채용초성기술,가이명현개선부식표면질량,재교저온도화교저농도적KOH용액중,선택합괄적초성삼수가획득고품질적부식표면.
