中国光学与应用光学
中國光學與應用光學
중국광학여응용광학
CHINESE JOURNAL OF OPTICS AND APPLIED OPTICS
2009年
2期
71-78
,共8页
高劲松%申振峰%王笑夷%王彤彤%陈红%郑宣鸣
高勁鬆%申振峰%王笑夷%王彤彤%陳紅%鄭宣鳴
고경송%신진봉%왕소이%왕동동%진홍%정선명
SiC%SiC反射镜%表面改性
SiC%SiC反射鏡%錶麵改性
SiC%SiC반사경%표면개성
SiC材料具有良好的物理特性和机械特性,是制备大口径空间反射镜的主要候选材料之一,而SiC反射镜的制名加工及其表面改性技术是推动高水平空间光学系统应用的重要条件.本文从实际工程应用的角度出发,分析了几种用SiC基底反射镜材料的特性,介绍了4种SiC的制备工艺.研究了目前国内外SiC基底反射镜的应用现状及其表面性情况,对改性层的性能指标、制备工艺和发展趋势进行了深入讨论.针对目前国内反射镜材料应用现状,认为加快性能SiC基底材料研发工作步伐,并找到一种利用现有大口径PVD设备低温制备优质SiC改性层的方法是今后工程用的发展方向.
SiC材料具有良好的物理特性和機械特性,是製備大口徑空間反射鏡的主要候選材料之一,而SiC反射鏡的製名加工及其錶麵改性技術是推動高水平空間光學繫統應用的重要條件.本文從實際工程應用的角度齣髮,分析瞭幾種用SiC基底反射鏡材料的特性,介紹瞭4種SiC的製備工藝.研究瞭目前國內外SiC基底反射鏡的應用現狀及其錶麵性情況,對改性層的性能指標、製備工藝和髮展趨勢進行瞭深入討論.針對目前國內反射鏡材料應用現狀,認為加快性能SiC基底材料研髮工作步伐,併找到一種利用現有大口徑PVD設備低溫製備優質SiC改性層的方法是今後工程用的髮展方嚮.
SiC재료구유량호적물리특성화궤계특성,시제비대구경공간반사경적주요후선재료지일,이SiC반사경적제명가공급기표면개성기술시추동고수평공간광학계통응용적중요조건.본문종실제공정응용적각도출발,분석료궤충용SiC기저반사경재료적특성,개소료4충SiC적제비공예.연구료목전국내외SiC기저반사경적응용현상급기표면성정황,대개성층적성능지표、제비공예화발전추세진행료심입토론.침대목전국내반사경재료응용현상,인위가쾌성능SiC기저재료연발공작보벌,병조도일충이용현유대구경PVD설비저온제비우질SiC개성층적방법시금후공정용적발전방향.
