CAJ | 학술논문

以MEMS红外气敏传感器为应用目标,采用MEMS技术设计和制作一种二维金属亚波长孔阵列结构红外辐射源.探讨了不同厚度SU-8膜对金属/电介质/金属(M/D/M)二维金属亚波长孔阵列结构在中远红外波段透射特性的影响.设计并制作了Au/SU-8/Au的M/D/M结构,测试采用傅里叶变换红外光谱仪器.同时对M/D/M结构不同电介质层情况下的中远红外波段透射特性进行了模拟.实验结果表明,SU-8厚度在小于1μm时,透射强度远大于厚度1μm以上的结构,且有透射强度最大值出现(SU-8厚度为360 nn),同时,随着SU-8厚度的增加,透射谱峰值呈现规律性红移.
이MEMS홍외기민전감기위응용목표,채용MEMS기술설계화제작일충이유금속아파장공진렬결구홍외복사원.탐토료불동후도SU-8막대금속/전개질/금속(M/D/M)이유금속아파장공진렬결구재중원홍외파단투사특성적영향.설계병제작료Au/SU-8/Au적M/D/M결구,측시채용부리협변환홍외광보의기.동시대M/D/M결구불동전개질층정황하적중원홍외파단투사특성진행료모의.실험결과표명,SU-8후도재소우1μm시,투사강도원대우후도1μm이상적결구,차유투사강도최대치출현(SU-8후도위360 nn),동시,수착SU-8후도적증가,투사보봉치정현규률성홍이.