浙江大学学报（理学版）
浙江大學學報（理學版）
절강대학학보（이학판）
JOURNAL OF ZHEJIANG UNIVERSITY
2011年
1期
41-45
,共5页
可制造性设计%光刻热点%离散余弦变换%支持向量机%遗传算法
可製造性設計%光刻熱點%離散餘絃變換%支持嚮量機%遺傳算法
가제조성설계%광각열점%리산여현변환%지지향량궤%유전산법
提出一种基于支持向量机(SVM)及遗传算法(GA)的集成电路版图光刻热点检测方法.首先对版图样本进行离散余弦变换(DCT)以提取样本的频域特征,然后基于这些样本训练SVM分类器以实现对光刻热点的检测.为了提高光刻热点检测的精度及效率,采用遗传算法(GA)对频域特征进行选择,并同时优化SVM参数.实验结果表明,基于SVM及版图频域特征并结合遗传算法进行优化的光刻热点检测方法可以有效提高版图光刻热点的检测精度.
提齣一種基于支持嚮量機(SVM)及遺傳算法(GA)的集成電路版圖光刻熱點檢測方法.首先對版圖樣本進行離散餘絃變換(DCT)以提取樣本的頻域特徵,然後基于這些樣本訓練SVM分類器以實現對光刻熱點的檢測.為瞭提高光刻熱點檢測的精度及效率,採用遺傳算法(GA)對頻域特徵進行選擇,併同時優化SVM參數.實驗結果錶明,基于SVM及版圖頻域特徵併結閤遺傳算法進行優化的光刻熱點檢測方法可以有效提高版圖光刻熱點的檢測精度.
제출일충기우지지향량궤(SVM)급유전산법(GA)적집성전로판도광각열점검측방법.수선대판도양본진행리산여현변환(DCT)이제취양본적빈역특정,연후기우저사양본훈련SVM분류기이실현대광각열점적검측.위료제고광각열점검측적정도급효솔,채용유전산법(GA)대빈역특정진행선택,병동시우화SVM삼수.실험결과표명,기우SVM급판도빈역특정병결합유전산법진행우화적광각열점검측방법가이유효제고판도광각열점적검측정도.
