强激光与粒子束
彊激光與粒子束
강격광여입자속
HIGH POWER LASER AND PARTICLEBEAMS
2011年
6期
1421-1429
,共9页
单永光%刘晓凤%贺洪波%范正修
單永光%劉曉鳳%賀洪波%範正脩
단영광%류효봉%하홍파%범정수
节瘤缺陷%节瘤喷射%激光破坏%激光损伤阈值%破坑修复
節瘤缺陷%節瘤噴射%激光破壞%激光損傷閾值%破坑脩複
절류결함%절류분사%격광파배%격광손상역치%파갱수복
结合本实验室及国内外同行的工作进展,概括性地介绍了光学薄膜中节瘤缺陷的生长特性、结构特征和损伤特性,以及激光预处理和破坏修复技术的研究进展.节瘤种子的尺寸、形状和表面特性决定了节瘤缺陷的尺寸、边界结构的连续性和表面形貌特征.节瘤种子的来源主要有基底加工和清洗过程的残留物,镀膜过程中真空室的污染和蒸发材料的喷溅,并给出了相应的抑制方法.节瘤的电场增强效应是导致节瘤缺陷易损伤的另一个重要原因.节瘤缺陷的激光预处理和破坏坑的修复技术可以提高光学薄膜的抗激光损伤能力.
結閤本實驗室及國內外同行的工作進展,概括性地介紹瞭光學薄膜中節瘤缺陷的生長特性、結構特徵和損傷特性,以及激光預處理和破壞脩複技術的研究進展.節瘤種子的呎吋、形狀和錶麵特性決定瞭節瘤缺陷的呎吋、邊界結構的連續性和錶麵形貌特徵.節瘤種子的來源主要有基底加工和清洗過程的殘留物,鍍膜過程中真空室的汙染和蒸髮材料的噴濺,併給齣瞭相應的抑製方法.節瘤的電場增彊效應是導緻節瘤缺陷易損傷的另一箇重要原因.節瘤缺陷的激光預處理和破壞坑的脩複技術可以提高光學薄膜的抗激光損傷能力.
결합본실험실급국내외동행적공작진전,개괄성지개소료광학박막중절류결함적생장특성、결구특정화손상특성,이급격광예처리화파배수복기술적연구진전.절류충자적척촌、형상화표면특성결정료절류결함적척촌、변계결구적련속성화표면형모특정.절류충자적래원주요유기저가공화청세과정적잔류물,도막과정중진공실적오염화증발재료적분천,병급출료상응적억제방법.절류적전장증강효응시도치절류결함역손상적령일개중요원인.절류결함적격광예처리화파배갱적수복기술가이제고광학박막적항격광손상능력.