陶瓷学报
陶瓷學報
도자학보
JOURNAL OF CERAMICS
2012年
1期
31-35
,共5页
靶材%WO3%常压烧结%致密
靶材%WO3%常壓燒結%緻密
파재%WO3%상압소결%치밀
采用常压固相烧结工艺,制备出高纯度、高致密度的氧化钨靶材.考察了粉体粒度、成型压强、烧结温度和保温时间等对靶材致密度的影响.测试结果表明,以粒度0.27μm的粉体为原料,成型压强为60MPa,烧结温度为1200℃,保温时间为lh的条件下,可以制备出高致密度的氧化钨靶材,其组成为高纯的单斜晶相.
採用常壓固相燒結工藝,製備齣高純度、高緻密度的氧化鎢靶材.攷察瞭粉體粒度、成型壓彊、燒結溫度和保溫時間等對靶材緻密度的影響.測試結果錶明,以粒度0.27μm的粉體為原料,成型壓彊為60MPa,燒結溫度為1200℃,保溫時間為lh的條件下,可以製備齣高緻密度的氧化鎢靶材,其組成為高純的單斜晶相.
채용상압고상소결공예,제비출고순도、고치밀도적양화오파재.고찰료분체립도、성형압강、소결온도화보온시간등대파재치밀도적영향.측시결과표명,이립도0.27μm적분체위원료,성형압강위60MPa,소결온도위1200℃,보온시간위lh적조건하,가이제비출고치밀도적양화오파재,기조성위고순적단사정상.
