仪表技术与传感器
儀錶技術與傳感器
의표기술여전감기
INSTRUMENT TECHNIQUE AND SENSOR
2011年
7期
15-17
,共3页
传感器%灵敏度%理论分析%参数仿真
傳感器%靈敏度%理論分析%參數倣真
전감기%령민도%이론분석%삼수방진
对传感器的灵敏度理论进行了详细分析,得到了传感器的灵敏度与应力和应变的关系.通过有限元仿真软件对传感器的灵敏度和线性度进行了研究,分析了膜片的厚度、岛的高度和梁膜片的长度对传感器性能的影响,为传感器芯片的设计提供了重要的依据.
對傳感器的靈敏度理論進行瞭詳細分析,得到瞭傳感器的靈敏度與應力和應變的關繫.通過有限元倣真軟件對傳感器的靈敏度和線性度進行瞭研究,分析瞭膜片的厚度、島的高度和樑膜片的長度對傳感器性能的影響,為傳感器芯片的設計提供瞭重要的依據.
대전감기적령민도이론진행료상세분석,득도료전감기적령민도여응력화응변적관계.통과유한원방진연건대전감기적령민도화선성도진행료연구,분석료막편적후도、도적고도화량막편적장도대전감기성능적영향,위전감기심편적설계제공료중요적의거.
