苏州科技学院学报（自然科学版）
囌州科技學院學報（自然科學版）
소주과기학원학보（자연과학판）
JOURNAL OF UNIVERSITY OF SCIENCE AND TECHNOLOGY OF SUZHOU(NATURAL SCIENCE EDITION)
2005年
4期
31-34,41
,共5页
空心薄膜电感%栅极型%掩膜%分层串联%品质因数
空心薄膜電感%柵極型%掩膜%分層串聯%品質因數
공심박막전감%책겁형%엄막%분층천련%품질인수
讨论了采用掩膜方法制备的栅极型空心薄膜电感的分层串联,在100MHz～10 GHz范围,两种样品的电感值显示了平稳的频率特性,其数值分别由原来单层的130 nH,155 nH增加到185 nH和280 nH;电阻在6 GHz以下保持平稳,分别由单层的31 Ω,51 Ω增加到64 Ω和104Ω;品质因素(Q值)在1～6 GHz之间达到20以上.
討論瞭採用掩膜方法製備的柵極型空心薄膜電感的分層串聯,在100MHz～10 GHz範圍,兩種樣品的電感值顯示瞭平穩的頻率特性,其數值分彆由原來單層的130 nH,155 nH增加到185 nH和280 nH;電阻在6 GHz以下保持平穩,分彆由單層的31 Ω,51 Ω增加到64 Ω和104Ω;品質因素(Q值)在1～6 GHz之間達到20以上.
토론료채용엄막방법제비적책겁형공심박막전감적분층천련,재100MHz～10 GHz범위,량충양품적전감치현시료평은적빈솔특성,기수치분별유원래단층적130 nH,155 nH증가도185 nH화280 nH;전조재6 GHz이하보지평은,분별유단층적31 Ω,51 Ω증가도64 Ω화104Ω;품질인소(Q치)재1～6 GHz지간체도20이상.
