稀有金属材料与工程
稀有金屬材料與工程
희유금속재료여공정
RARE METAL MATERIALS AND ENGINEERNG
2005年
11期
1751-1753
,共3页
牛新平%马大衍%马胜利%徐可为
牛新平%馬大衍%馬勝利%徐可為
우신평%마대연%마성리%서가위
Ti-Si-N%纳米复合薄膜%晶粒尺寸%显微硬度
Ti-Si-N%納米複閤薄膜%晶粒呎吋%顯微硬度
Ti-Si-N%납미복합박막%정립척촌%현미경도
用工业型脉冲直流等离子体增强化学气相沉积技术,在高速钢(W18Cr4V)表面沉积了Ti-Si-N复合薄膜,研究了Ti-Si-N复合薄膜的微观组织和力学性能.结果显示,薄膜相结构为纳米晶TiN和纳米晶或非晶TiSi2以及非晶相Si3N4;在Si含量为5.0 at%～28.0 at%范围内,薄膜的晶粒尺寸逐渐变大;Ti-Si-N薄膜的显微硬度相对于TiN有明显增加,最高硬度可达40 GPa;高温退火后,Ti-Si-N纳米复合薄膜的显微硬度与晶粒尺寸在800℃高温下仍然保持稳定.
用工業型脈遲直流等離子體增彊化學氣相沉積技術,在高速鋼(W18Cr4V)錶麵沉積瞭Ti-Si-N複閤薄膜,研究瞭Ti-Si-N複閤薄膜的微觀組織和力學性能.結果顯示,薄膜相結構為納米晶TiN和納米晶或非晶TiSi2以及非晶相Si3N4;在Si含量為5.0 at%～28.0 at%範圍內,薄膜的晶粒呎吋逐漸變大;Ti-Si-N薄膜的顯微硬度相對于TiN有明顯增加,最高硬度可達40 GPa;高溫退火後,Ti-Si-N納米複閤薄膜的顯微硬度與晶粒呎吋在800℃高溫下仍然保持穩定.
용공업형맥충직류등리자체증강화학기상침적기술,재고속강(W18Cr4V)표면침적료Ti-Si-N복합박막,연구료Ti-Si-N복합박막적미관조직화역학성능.결과현시,박막상결구위납미정TiN화납미정혹비정TiSi2이급비정상Si3N4;재Si함량위5.0 at%～28.0 at%범위내,박막적정립척촌축점변대;Ti-Si-N박막적현미경도상대우TiN유명현증가,최고경도가체40 GPa;고온퇴화후,Ti-Si-N납미복합박막적현미경도여정립척촌재800℃고온하잉연보지은정.
