微细加工技术
微細加工技術
미세가공기술
MICROFABRICATION TECHNOLOGY
2006年
4期
48-52
,共5页
许宝建%乔治%金庆辉%赵建龙
許寶建%喬治%金慶輝%趙建龍
허보건%교치%금경휘%조건룡
微喷阵列芯片%微阵列%深反应离子刻蚀%计算流体力学模拟
微噴陣列芯片%微陣列%深反應離子刻蝕%計算流體力學模擬
미분진렬심편%미진렬%심반응리자각식%계산류체역학모의
介绍了一种用于制作生物微阵列的新型微喷阵列芯片.基于半导体光刻技术和干法刻蚀技术,成功制作了喷孔外侧含有间隙环的硅微喷阵列芯片,解决了溶液进样难、微阵列样品点缺失、样品点漂移以及液体回流等问题.在5 kPa气压驱动下,该芯片中的样品能在3.4 mm×3.4 mm的玻璃片上制成5×5样品微阵列,25个点的直径平均值为356 μm,直径的变异系数(25个点直径的标准偏差与算术平均值的比值)为2.8%.计算流体力学模拟结果和实验结果均表明,该微喷阵列芯片能快速、稳定地制作出样品点大小均一的微阵列,进一步推动了微阵列芯片的应用和发展.
介紹瞭一種用于製作生物微陣列的新型微噴陣列芯片.基于半導體光刻技術和榦法刻蝕技術,成功製作瞭噴孔外側含有間隙環的硅微噴陣列芯片,解決瞭溶液進樣難、微陣列樣品點缺失、樣品點漂移以及液體迴流等問題.在5 kPa氣壓驅動下,該芯片中的樣品能在3.4 mm×3.4 mm的玻璃片上製成5×5樣品微陣列,25箇點的直徑平均值為356 μm,直徑的變異繫數(25箇點直徑的標準偏差與算術平均值的比值)為2.8%.計算流體力學模擬結果和實驗結果均錶明,該微噴陣列芯片能快速、穩定地製作齣樣品點大小均一的微陣列,進一步推動瞭微陣列芯片的應用和髮展.
개소료일충용우제작생물미진렬적신형미분진렬심편.기우반도체광각기술화간법각식기술,성공제작료분공외측함유간극배적규미분진렬심편,해결료용액진양난、미진렬양품점결실、양품점표이이급액체회류등문제.재5 kPa기압구동하,해심편중적양품능재3.4 mm×3.4 mm적파리편상제성5×5양품미진렬,25개점적직경평균치위356 μm,직경적변이계수(25개점직경적표준편차여산술평균치적비치)위2.8%.계산류체역학모의결과화실험결과균표명,해미분진렬심편능쾌속、은정지제작출양품점대소균일적미진렬,진일보추동료미진렬심편적응용화발전.
