电子显微学报
電子顯微學報
전자현미학보
JOURNAL OF CHINESE ELECTRON MICROSCOPY SOCIETY
2006年
6期
477-480
,共4页
赵小力%董申%孙涛%李增强
趙小力%董申%孫濤%李增彊
조소력%동신%손도%리증강
离子溅射%金属薄膜%聚二甲基硅氧烷PDMS%褶皱图案
離子濺射%金屬薄膜%聚二甲基硅氧烷PDMS%褶皺圖案
리자천사%금속박막%취이갑기규양완PDMS%습추도안
用离子溅射法在聚二甲基硅氧烷(polydimethylsiloxane,PDMS)表面沉积的金膜因金属与聚合物之间热膨胀系数的差异从而导致了具有正弦界面、微米尺度的波长和振幅的复杂而有序的褶皱图案.用光刻技术在硅片制备图形结构作为模板,通过复制模铸得到表面具有浮雕结构的聚二甲基硅氧烷基片.改变浮雕结构可以调控其上沉积的金膜的褶皱图案呈规则有序的排列.这种多尺度的复合结构将光刻技术、复制模铸和物理自组装等有效结合,可广泛应用于微纳制造领域.
用離子濺射法在聚二甲基硅氧烷(polydimethylsiloxane,PDMS)錶麵沉積的金膜因金屬與聚閤物之間熱膨脹繫數的差異從而導緻瞭具有正絃界麵、微米呎度的波長和振幅的複雜而有序的褶皺圖案.用光刻技術在硅片製備圖形結構作為模闆,通過複製模鑄得到錶麵具有浮彫結構的聚二甲基硅氧烷基片.改變浮彫結構可以調控其上沉積的金膜的褶皺圖案呈規則有序的排列.這種多呎度的複閤結構將光刻技術、複製模鑄和物理自組裝等有效結閤,可廣汎應用于微納製造領域.
용리자천사법재취이갑기규양완(polydimethylsiloxane,PDMS)표면침적적금막인금속여취합물지간열팽창계수적차이종이도치료구유정현계면、미미척도적파장화진폭적복잡이유서적습추도안.용광각기술재규편제비도형결구작위모판,통과복제모주득도표면구유부조결구적취이갑기규양완기편.개변부조결구가이조공기상침적적금막적습추도안정규칙유서적배렬.저충다척도적복합결구장광각기술、복제모주화물리자조장등유효결합,가엄범응용우미납제조영역.
