MOCVD制备AlGaN基多波段布拉格反射镜
MOCVD제비AlGaN기다파단포랍격반사경
AlGaN-Based Multi-Type Distributed Bragg Reflectors Grown by MOCVD
  • 万方数据
    半导体学报 반도체학보
    CHINESE JOURNAL OF SEMICONDUCTORS
    2007年 z1期 492-495 ,共4页

    刘斌%张荣%谢自力%姬小利%李亮%周建军%江若琏%韩平%郑有炓%郑建国%龚海梅

    류빈%장영%사자력%희소리%리량%주건군%강약련%한평%정유료%정건국%공해매

    金属有机物化学气相淀积%布拉格反射镜%反射率 金屬有機物化學氣相澱積%佈拉格反射鏡%反射率
    금속유궤물화학기상정적%포랍격반사경%반사솔
    利用金属有机物化学气相淀积系统(MOCVD)制备了AlGaN基多波段布拉格反射镜.多个布拉格反射镜的工作波长覆盖从蓝绿光至紫外范围,分别由多周期的双层结构GaN/AlN,Al0.3Ga0.7N/AlN,Al0.5Ga0.5N/AlN组成.这些多周期光学结构都生长在GaN支撑层上.AFM研究发现,这些布拉格反射镜具有平整光滑的表面,其粗糙度小于lnm;X射线衍射谱和截面透射电镜图片表明它们具有完整的周期重复性和清晰的界面.利用可见-紫外光谱仪研究这些布拉格反射镜的反射谱,发现反射率和半峰宽不仅与周期数有关也与两种材料的折射率系数差有关.
    이용금속유궤물화학기상정적계통(MOCVD)제비료AlGaN기다파단포랍격반사경.다개포랍격반사경적공작파장복개종람록광지자외범위,분별유다주기적쌍층결구GaN/AlN,Al0.3Ga0.7N/AlN,Al0.5Ga0.5N/AlN조성.저사다주기광학결구도생장재GaN지탱층상.AFM연구발현,저사포랍격반사경구유평정광활적표면,기조조도소우lnm;X사선연사보화절면투사전경도편표명타문구유완정적주기중복성화청석적계면.이용가견-자외광보의연구저사포랍격반사경적반사보,발현반사솔화반봉관불부여주기수유관야여량충재료적절사솔계수차유관.
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