中国激光
中國激光
중국격광
CHINESE JOURNAL OF LASERS
2008年
5期
760-763
,共4页
王胭脂%张伟丽%范正修%黄建兵%晋云霞%姚建可%邵建达
王胭脂%張偉麗%範正脩%黃建兵%晉雲霞%姚建可%邵建達
왕연지%장위려%범정수%황건병%진운하%요건가%소건체
薄膜%SiO2折射率%包络法%准确拟合
薄膜%SiO2摺射率%包絡法%準確擬閤
박막%SiO2절사솔%포락법%준학의합
精确的光学常数对于设计和制备高品质的光学薄膜非常重要,尤其是那些光学性能对折射率变化敏感的薄膜.SiO2是一种常用的低折射率材料,因与常用基底折射率相近使其准确拟合有一定难度.实验通过离子束溅射制备了SiO2单层膜.考虑测量时的误差和基底折射率的影响,采用透射率包络和反射率包络得到了SiO2的折射率,并用所得折射率进行反演来对这两种途径在实际测量拟合过程中的准确性进行比对.分析表明,剩余反射率在实际的测量过程中误差更小,直接用测量镀膜前后基片的剩余反射率值可以更简便更准确地得到SiO2的折射率,能达到10-2的精度.
精確的光學常數對于設計和製備高品質的光學薄膜非常重要,尤其是那些光學性能對摺射率變化敏感的薄膜.SiO2是一種常用的低摺射率材料,因與常用基底摺射率相近使其準確擬閤有一定難度.實驗通過離子束濺射製備瞭SiO2單層膜.攷慮測量時的誤差和基底摺射率的影響,採用透射率包絡和反射率包絡得到瞭SiO2的摺射率,併用所得摺射率進行反縯來對這兩種途徑在實際測量擬閤過程中的準確性進行比對.分析錶明,剩餘反射率在實際的測量過程中誤差更小,直接用測量鍍膜前後基片的剩餘反射率值可以更簡便更準確地得到SiO2的摺射率,能達到10-2的精度.
정학적광학상수대우설계화제비고품질적광학박막비상중요,우기시나사광학성능대절사솔변화민감적박막.SiO2시일충상용적저절사솔재료,인여상용기저절사솔상근사기준학의합유일정난도.실험통과리자속천사제비료SiO2단층막.고필측량시적오차화기저절사솔적영향,채용투사솔포락화반사솔포락득도료SiO2적절사솔,병용소득절사솔진행반연래대저량충도경재실제측량의합과정중적준학성진행비대.분석표명,잉여반사솔재실제적측량과정중오차경소,직접용측량도막전후기편적잉여반사솔치가이경간편경준학지득도SiO2적절사솔,능체도10-2적정도.
