江南大学学报（自然科学版）
江南大學學報（自然科學版）
강남대학학보（자연과학판）
JOURNAL OF SOUTHERN YANGTZE UNIVERSITY（NATURAL SCIENCE EDITION）
2008年
5期
623-626
,共4页
徐燕%吴艳%翁惠民%程宇航
徐燕%吳豔%翁惠民%程宇航
서연%오염%옹혜민%정우항
类金刚石膜%缺陷浓度%慢正电子%扩散长度
類金剛石膜%缺陷濃度%慢正電子%擴散長度
류금강석막%결함농도%만정전자%확산장도
对在不同极板负偏压下采用射频-直流等离子体方法制备得到的类金刚石膜(a-C:H)的微结构进行了测量,利用慢正电子束实验装置,探测并分析了样品缺陷浓度的分布情况.结果表明,在不同偏压下制备的薄膜,其膜中缺陷浓度存在很大差别,但在900 V偏压下制得的样品,膜中的缺陷浓度最低.
對在不同極闆負偏壓下採用射頻-直流等離子體方法製備得到的類金剛石膜(a-C:H)的微結構進行瞭測量,利用慢正電子束實驗裝置,探測併分析瞭樣品缺陷濃度的分佈情況.結果錶明,在不同偏壓下製備的薄膜,其膜中缺陷濃度存在很大差彆,但在900 V偏壓下製得的樣品,膜中的缺陷濃度最低.
대재불동겁판부편압하채용사빈-직류등리자체방법제비득도적류금강석막(a-C:H)적미결구진행료측량,이용만정전자속실험장치,탐측병분석료양품결함농도적분포정황.결과표명,재불동편압하제비적박막,기막중결함농도존재흔대차별,단재900 V편압하제득적양품,막중적결함농도최저.
