中国科学技术大学学报
中國科學技術大學學報
중국과학기술대학학보
JOURNAL OF UNIVERSITY OF SCIENCE AND TECHNOLOGY OF CHINA
2010年
10期
1011-1015
,共5页
刘爽%褚家如%黄文浩%李保家
劉爽%褚傢如%黃文浩%李保傢
류상%저가여%황문호%리보가
飞秒激光%PZT%图形化%驱动器
飛秒激光%PZT%圖形化%驅動器
비초격광%PZT%도형화%구동기
利用飞秒激光实现了对PZT厚膜(十几至上百微米)材料的精确烧蚀和图形化研究.飞秒激光脉宽为130fs,重复频率为1 kHz.首先利用飞秒激光脉冲能量与烧蚀点大小的关系,得到飞秒激光烧蚀PZT厚膜的能量阈值为100 J/cm2,然后利用功率为50~300 mW的飞秒激光对PZT压电厚膜进行烧蚀和图形化研究.结合飞秒激光加工的无热影响和无掩膜等特性,在一定的扫描控制下,可以实现对PZT厚膜高精度和高效率的加工.最后,在功率为300 mW、扫描速率为5 mm/s条件下实现了对PZT厚膜驱动器的图形化.经测试表明,图形化以后,PZT驱动器驱动性能有明显(30%)地提高.
利用飛秒激光實現瞭對PZT厚膜(十幾至上百微米)材料的精確燒蝕和圖形化研究.飛秒激光脈寬為130fs,重複頻率為1 kHz.首先利用飛秒激光脈遲能量與燒蝕點大小的關繫,得到飛秒激光燒蝕PZT厚膜的能量閾值為100 J/cm2,然後利用功率為50~300 mW的飛秒激光對PZT壓電厚膜進行燒蝕和圖形化研究.結閤飛秒激光加工的無熱影響和無掩膜等特性,在一定的掃描控製下,可以實現對PZT厚膜高精度和高效率的加工.最後,在功率為300 mW、掃描速率為5 mm/s條件下實現瞭對PZT厚膜驅動器的圖形化.經測試錶明,圖形化以後,PZT驅動器驅動性能有明顯(30%)地提高.
이용비초격광실현료대PZT후막(십궤지상백미미)재료적정학소식화도형화연구.비초격광맥관위130fs,중복빈솔위1 kHz.수선이용비초격광맥충능량여소식점대소적관계,득도비초격광소식PZT후막적능량역치위100 J/cm2,연후이용공솔위50~300 mW적비초격광대PZT압전후막진행소식화도형화연구.결합비초격광가공적무열영향화무엄막등특성,재일정적소묘공제하,가이실현대PZT후막고정도화고효솔적가공.최후,재공솔위300 mW、소묘속솔위5 mm/s조건하실현료대PZT후막구동기적도형화.경측시표명,도형화이후,PZT구동기구동성능유명현(30%)지제고.
