光子学报
光子學報
광자학보
ACTA PHOTONICA SINICA
2012年
9期
1019-1022
,共4页
雷亮%李凡%林清华%周金运%冉坐
雷亮%李凡%林清華%週金運%冉坐
뢰량%리범%림청화%주금운%염좌
半导体工业%光刻技术%三硼酸铯晶体%紫外激光
半導體工業%光刻技術%三硼痠銫晶體%紫外激光
반도체공업%광각기술%삼붕산색정체%자외격광
以半导体侧泵钇铝石榴石激光器为泵浦源,采用腔内泵浦两块三硼酸铯晶体,产生满足高功率与高光束质量要求的三倍频355 nm紫外激光.通过使用法拉第旋转器谐振腔优化设计与热效应补偿提高输出光的光束质量,并且使用体光栅作为输出镜,在实现线宽窄化同时保持准相位匹配的高效性能.该光刻用紫外激光源成功地替代准分子激光器,使用在一套大面积亚纳米级投影式光刻系统上,工作时紫外光输出功率为4.37W,光束质量因子为2.27.
以半導體側泵釔鋁石榴石激光器為泵浦源,採用腔內泵浦兩塊三硼痠銫晶體,產生滿足高功率與高光束質量要求的三倍頻355 nm紫外激光.通過使用法拉第鏇轉器諧振腔優化設計與熱效應補償提高輸齣光的光束質量,併且使用體光柵作為輸齣鏡,在實現線寬窄化同時保持準相位匹配的高效性能.該光刻用紫外激光源成功地替代準分子激光器,使用在一套大麵積亞納米級投影式光刻繫統上,工作時紫外光輸齣功率為4.37W,光束質量因子為2.27.
이반도체측빙을려석류석격광기위빙포원,채용강내빙포량괴삼붕산색정체,산생만족고공솔여고광속질량요구적삼배빈355 nm자외격광.통과사용법랍제선전기해진강우화설계여열효응보상제고수출광적광속질량,병차사용체광책작위수출경,재실현선관착화동시보지준상위필배적고효성능.해광각용자외격광원성공지체대준분자격광기,사용재일투대면적아납미급투영식광각계통상,공작시자외광수출공솔위4.37W,광속질량인자위2.27.
