半导体学报
半導體學報
반도체학보
CHINESE JOURNAL OF SEMICONDUCTORS
2003年
4期
396-400
,共5页
周蓉%胡思福%李肇基%张庆中
週蓉%鬍思福%李肇基%張慶中
주용%호사복%리조기%장경중
双极RF功率管%深阱结终端%击穿电压%填充介质
雙極RF功率管%深阱結終耑%擊穿電壓%填充介質
쌍겁RF공솔관%심정결종단%격천전압%전충개질
给出了双极RF功率管新的深阱结终端结构.模拟分析表明,具有优化宽度、优化深度且填充绝缘介质的深阱结终端结构能使雪崩击穿电压提高到理想值的95%以上.实验结果表明,深阱结终端结构器件DCT260的BVCBO为理想值的94%,比传统终端结构器件高14%;与传统结构相比,在不减小散热面积的情况下,该结构还减小集电结面积和漏电流,器件的截止频率提高33%,功率增益提高1dB.
給齣瞭雙極RF功率管新的深阱結終耑結構.模擬分析錶明,具有優化寬度、優化深度且填充絕緣介質的深阱結終耑結構能使雪崩擊穿電壓提高到理想值的95%以上.實驗結果錶明,深阱結終耑結構器件DCT260的BVCBO為理想值的94%,比傳統終耑結構器件高14%;與傳統結構相比,在不減小散熱麵積的情況下,該結構還減小集電結麵積和漏電流,器件的截止頻率提高33%,功率增益提高1dB.
급출료쌍겁RF공솔관신적심정결종단결구.모의분석표명,구유우화관도、우화심도차전충절연개질적심정결종단결구능사설붕격천전압제고도이상치적95%이상.실험결과표명,심정결종단결구기건DCT260적BVCBO위이상치적94%,비전통종단결구기건고14%;여전통결구상비,재불감소산열면적적정황하,해결구환감소집전결면적화루전류,기건적절지빈솔제고33%,공솔증익제고1dB.
