微细加工技术
微細加工技術
미세가공기술
MICROFABRICATION TECHNOLOGY
2005年
2期
34-38
,共5页
张亚军%段玉刚%卢秉恒%王权岱
張亞軍%段玉剛%盧秉恆%王權岱
장아군%단옥강%로병항%왕권대
压印光刻%柔性铰链%工作台
壓印光刻%柔性鉸鏈%工作檯
압인광각%유성교련%공작태
概述了纳米压印光刻的原理,以及纳米压印光刻工艺中模版与基片的平行度对压印质量的影响,分析了国内外几种纳米压印光刻工作台的结构与特点,并对其优缺点进行了评价.
概述瞭納米壓印光刻的原理,以及納米壓印光刻工藝中模版與基片的平行度對壓印質量的影響,分析瞭國內外幾種納米壓印光刻工作檯的結構與特點,併對其優缺點進行瞭評價.
개술료납미압인광각적원리,이급납미압인광각공예중모판여기편적평행도대압인질량적영향,분석료국내외궤충납미압인광각공작태적결구여특점,병대기우결점진행료평개.
