硅酸盐学报
硅痠鹽學報
규산염학보
JOURNAL OF THE CHINESE CERAMIC SOCIETY
2006年
8期
917-921
,共5页
赵洪力%蔡永秀%杨雪梅%刘广利%张福成
趙洪力%蔡永秀%楊雪梅%劉廣利%張福成
조홍력%채영수%양설매%류엄리%장복성
浮法玻璃%化学气相沉积%复合膜%纳米压痕%残余应力
浮法玻璃%化學氣相沉積%複閤膜%納米壓痕%殘餘應力
부법파리%화학기상침적%복합막%납미압흔%잔여응력
用化学气相沉积法在浮法玻璃上制备了复合薄膜.用台阶仪、纳米压痕和X射线衍射分别测定了薄膜厚度、弹性模量、纳米硬度和室温时薄膜的残余应力.实验结果表明:薄膜厚度为560.7nm,弹性模量为48.33GPa,纳米硬度值为10.65GPa,计算得到薄膜的残余应力值为-0.19GPa.对膜厚、气体的配比、流量、玻璃板的厚度、玻璃基体的化学成分等因素对薄膜残余应力的影响进行了讨论.
用化學氣相沉積法在浮法玻璃上製備瞭複閤薄膜.用檯階儀、納米壓痕和X射線衍射分彆測定瞭薄膜厚度、彈性模量、納米硬度和室溫時薄膜的殘餘應力.實驗結果錶明:薄膜厚度為560.7nm,彈性模量為48.33GPa,納米硬度值為10.65GPa,計算得到薄膜的殘餘應力值為-0.19GPa.對膜厚、氣體的配比、流量、玻璃闆的厚度、玻璃基體的化學成分等因素對薄膜殘餘應力的影響進行瞭討論.
용화학기상침적법재부법파리상제비료복합박막.용태계의、납미압흔화X사선연사분별측정료박막후도、탄성모량、납미경도화실온시박막적잔여응력.실험결과표명:박막후도위560.7nm,탄성모량위48.33GPa,납미경도치위10.65GPa,계산득도박막적잔여응력치위-0.19GPa.대막후、기체적배비、류량、파리판적후도、파리기체적화학성분등인소대박막잔여응력적영향진행료토론.
