制冷与空调（四川）
製冷與空調（四川）
제랭여공조（사천）
REFRIGERATION & AIR-CONDITION
2007年
1期
89-91,88
,共4页
SMIF%气流状况%微环境%洁净技术
SMIF%氣流狀況%微環境%潔淨技術
SMIF%기류상황%미배경%길정기술
在洁净室中应用SMIF微环境技术可以有效减少气体微粒,并实现硅片同工作人员及工艺设备的相互隔离.本文主要论述气流对微粒运动的影响,在微环境SMIF系统中的气流状况,以及影响微环境中的气流因素进行分析.
在潔淨室中應用SMIF微環境技術可以有效減少氣體微粒,併實現硅片同工作人員及工藝設備的相互隔離.本文主要論述氣流對微粒運動的影響,在微環境SMIF繫統中的氣流狀況,以及影響微環境中的氣流因素進行分析.
재길정실중응용SMIF미배경기술가이유효감소기체미립,병실현규편동공작인원급공예설비적상호격리.본문주요논술기류대미립운동적영향,재미배경SMIF계통중적기류상황,이급영향미배경중적기류인소진행분석.
