传感技术学报
傳感技術學報
전감기술학보
Journal of Transduction Technology
2008年
2期
248-251
,共4页
吕树海%徐淑静%徐永青%徐爱东%罗蓉%杨拥军
呂樹海%徐淑靜%徐永青%徐愛東%囉蓉%楊擁軍
려수해%서숙정%서영청%서애동%라용%양옹군
MEMS%敏感元件%热流体%热流陀螺
MEMS%敏感元件%熱流體%熱流陀螺
MEMS%민감원건%열류체%열류타라
MEMS热流陀螺是一种基于热流体理论的新型陀螺.该器件利用封闭腔体内的气体作为敏感元件,代替了常规MEMS陀螺的复杂振动结构和悬挂质量块,具有抗大冲击、体积小、重量轻、成本低、可批量化生产等优点.本研究的目的是为了验证MEMS热流陀螺的可行性,主要介绍该器件的研制过程,包括流体场仿真和工艺实现.最后得到了MEMS热流陀螺及其输出曲线,测试结果很好地验证了基于热流体理论的MEMS热流陀螺的可行性.
MEMS熱流陀螺是一種基于熱流體理論的新型陀螺.該器件利用封閉腔體內的氣體作為敏感元件,代替瞭常規MEMS陀螺的複雜振動結構和懸掛質量塊,具有抗大遲擊、體積小、重量輕、成本低、可批量化生產等優點.本研究的目的是為瞭驗證MEMS熱流陀螺的可行性,主要介紹該器件的研製過程,包括流體場倣真和工藝實現.最後得到瞭MEMS熱流陀螺及其輸齣麯線,測試結果很好地驗證瞭基于熱流體理論的MEMS熱流陀螺的可行性.
MEMS열류타라시일충기우열류체이론적신형타라.해기건이용봉폐강체내적기체작위민감원건,대체료상규MEMS타라적복잡진동결구화현괘질량괴,구유항대충격、체적소、중량경、성본저、가비양화생산등우점.본연구적목적시위료험증MEMS열류타라적가행성,주요개소해기건적연제과정,포괄류체장방진화공예실현.최후득도료MEMS열류타라급기수출곡선,측시결과흔호지험증료기우열류체이론적MEMS열류타라적가행성.
