硅酸盐学报
硅痠鹽學報
규산염학보
JOURNAL OF THE CHINESE CERAMIC SOCIETY
2008年
3期
341-346
,共6页
二氧化钛%衬底表面杂质%高温氧敏特性%深能级空穴
二氧化鈦%襯底錶麵雜質%高溫氧敏特性%深能級空穴
이양화태%츤저표면잡질%고온양민특성%심능급공혈
以三氧化二铝(Al2O3)为衬底,二氧化钛(TiO2)为厚膜氧敏材料,研究衬底表面杂质对厚膜高温氧敏特性的影响.用X射线光电子能谱监测常用Al2O3基体在制备及表面抛光过程中引入的钙(Ca)、硅(Si)、钠(Na)、氮(N)等杂质及含量.X射线衍射分析表明:衬底杂质使厚膜主体物相仍保持金红石结构,但随着Si离子摩尔分数(下同)的提高,厚膜的金红石结构中出现低度的Si,Ti有序化.扫描电子显微镜分析表明:Ca,Na离子含量较高的样品,晶粒表层包覆使厚膜粒度呈现增大的迹象.伏安法的厚膜氧敏特性测试表明:衬底表面存留的Ca离子含量越高,引入深能级空穴浓度越高,高温(600℃以上)氧气响应特性变差.缺位分析认为,衬底表面存留Ca,Si,Na离子产生的Ti金属缺位是影响敏感膜高温富氧响应特性和响应时间的主要因素.
以三氧化二鋁(Al2O3)為襯底,二氧化鈦(TiO2)為厚膜氧敏材料,研究襯底錶麵雜質對厚膜高溫氧敏特性的影響.用X射線光電子能譜鑑測常用Al2O3基體在製備及錶麵拋光過程中引入的鈣(Ca)、硅(Si)、鈉(Na)、氮(N)等雜質及含量.X射線衍射分析錶明:襯底雜質使厚膜主體物相仍保持金紅石結構,但隨著Si離子摩爾分數(下同)的提高,厚膜的金紅石結構中齣現低度的Si,Ti有序化.掃描電子顯微鏡分析錶明:Ca,Na離子含量較高的樣品,晶粒錶層包覆使厚膜粒度呈現增大的跡象.伏安法的厚膜氧敏特性測試錶明:襯底錶麵存留的Ca離子含量越高,引入深能級空穴濃度越高,高溫(600℃以上)氧氣響應特性變差.缺位分析認為,襯底錶麵存留Ca,Si,Na離子產生的Ti金屬缺位是影響敏感膜高溫富氧響應特性和響應時間的主要因素.
이삼양화이려(Al2O3)위츤저,이양화태(TiO2)위후막양민재료,연구츤저표면잡질대후막고온양민특성적영향.용X사선광전자능보감측상용Al2O3기체재제비급표면포광과정중인입적개(Ca)、규(Si)、납(Na)、담(N)등잡질급함량.X사선연사분석표명:츤저잡질사후막주체물상잉보지금홍석결구,단수착Si리자마이분수(하동)적제고,후막적금홍석결구중출현저도적Si,Ti유서화.소묘전자현미경분석표명:Ca,Na리자함량교고적양품,정립표층포복사후막립도정현증대적적상.복안법적후막양민특성측시표명:츤저표면존류적Ca리자함량월고,인입심능급공혈농도월고,고온(600℃이상)양기향응특성변차.결위분석인위,츤저표면존류Ca,Si,Na리자산생적Ti금속결위시영향민감막고온부양향응특성화향응시간적주요인소.
