光子学报
光子學報
광자학보
ACTA PHOTONICA SINICA
2010年
4期
723-727
,共5页
非球面检测%波带板%干涉
非毬麵檢測%波帶闆%榦涉
비구면검측%파대판%간섭
针对非球面高准确度检测的难题,设计了基于波带板干涉法的共光路干涉系统.阐述了干涉仪的测量原理,实验中针对曲率半径R=103.26 mm,口径D=40 mm的被测双曲面,设计并制作了波带板,编制了基于坐标变换的条纹中心法的干涉条纹处理程序,并将测量数据与泰勒-霍普森轮廓仪进行了比对,实验结果证明了该系统的可行性和先进性.
針對非毬麵高準確度檢測的難題,設計瞭基于波帶闆榦涉法的共光路榦涉繫統.闡述瞭榦涉儀的測量原理,實驗中針對麯率半徑R=103.26 mm,口徑D=40 mm的被測雙麯麵,設計併製作瞭波帶闆,編製瞭基于坐標變換的條紋中心法的榦涉條紋處理程序,併將測量數據與泰勒-霍普森輪廓儀進行瞭比對,實驗結果證明瞭該繫統的可行性和先進性.
침대비구면고준학도검측적난제,설계료기우파대판간섭법적공광로간섭계통.천술료간섭의적측량원리,실험중침대곡솔반경R=103.26 mm,구경D=40 mm적피측쌍곡면,설계병제작료파대판,편제료기우좌표변환적조문중심법적간섭조문처리정서,병장측량수거여태륵-곽보삼륜곽의진행료비대,실험결과증명료해계통적가행성화선진성.
