功能材料
功能材料
공능재료
JOURNAL OF FUNCTIONAL MATERIALS
2003年
5期
603-606
,共4页
计算机模拟%溅射%输运%溅射原子
計算機模擬%濺射%輸運%濺射原子
계산궤모의%천사%수운%천사원자
用软件SRIM及蒙特卡罗法综合模拟了靶材溅射及溅射原子输运的过程.模拟结果包括溅射原子输运到衬底时的能量、入射角和入射位置.由模拟结果知,溅射原子输运主要受P×d影响(P为真空室气压,d为靶基距),P×d愈大输运到衬底的溅射原子愈少,且能量愈小;溅射原子到达衬底时,能量集中在几电子伏范围内,且在能量很低的区域有分布峰;角度分布主要集中在垂直方向,这与从靶面出射时的分布相似,但垂直方向的分布有所减小;位置分布与从靶面出射时相比,分布范围在径向扩大、趋于均匀化,但主要在靶直径范围内.
用軟件SRIM及矇特卡囉法綜閤模擬瞭靶材濺射及濺射原子輸運的過程.模擬結果包括濺射原子輸運到襯底時的能量、入射角和入射位置.由模擬結果知,濺射原子輸運主要受P×d影響(P為真空室氣壓,d為靶基距),P×d愈大輸運到襯底的濺射原子愈少,且能量愈小;濺射原子到達襯底時,能量集中在幾電子伏範圍內,且在能量很低的區域有分佈峰;角度分佈主要集中在垂直方嚮,這與從靶麵齣射時的分佈相似,但垂直方嚮的分佈有所減小;位置分佈與從靶麵齣射時相比,分佈範圍在徑嚮擴大、趨于均勻化,但主要在靶直徑範圍內.
용연건SRIM급몽특잡라법종합모의료파재천사급천사원자수운적과정.모의결과포괄천사원자수운도츤저시적능량、입사각화입사위치.유모의결과지,천사원자수운주요수P×d영향(P위진공실기압,d위파기거),P×d유대수운도츤저적천사원자유소,차능량유소;천사원자도체츤저시,능량집중재궤전자복범위내,차재능량흔저적구역유분포봉;각도분포주요집중재수직방향,저여종파면출사시적분포상사,단수직방향적분포유소감소;위치분포여종파면출사시상비,분포범위재경향확대、추우균균화,단주요재파직경범위내.
