功能材料
功能材料
공능재료
JOURNAL OF FUNCTIONAL MATERIALS
2004年
5期
630-631,634
,共3页
黄树来%马瑾%计峰%余旭浒%王玉恒%马洪磊
黃樹來%馬瑾%計峰%餘旭滸%王玉恆%馬洪磊
황수래%마근%계봉%여욱호%왕옥항%마홍뢰
有机衬底%ZnO∶SnO薄膜%磁控溅射
有機襯底%ZnO∶SnO薄膜%磁控濺射
유궤츤저%ZnO∶SnO박막%자공천사
采用磁控溅射技术在有机衬底上低温制备出具有低电阻率和良好附着性的ZnO∶SnO透明导电膜.研究了制备ZnO∶SnO薄膜的结构、成分和光电性质.制备薄膜为非晶结构,有机衬底ZnO∶SnO透明导电膜的最低电阻率约10-2Ω*cm,可见光平均透过率＞82%.薄膜中的氧偏离理想化学配比,氧空位是薄膜中载流子的主要来源.
採用磁控濺射技術在有機襯底上低溫製備齣具有低電阻率和良好附著性的ZnO∶SnO透明導電膜.研究瞭製備ZnO∶SnO薄膜的結構、成分和光電性質.製備薄膜為非晶結構,有機襯底ZnO∶SnO透明導電膜的最低電阻率約10-2Ω*cm,可見光平均透過率＞82%.薄膜中的氧偏離理想化學配比,氧空位是薄膜中載流子的主要來源.
채용자공천사기술재유궤츤저상저온제비출구유저전조솔화량호부착성적ZnO∶SnO투명도전막.연구료제비ZnO∶SnO박막적결구、성분화광전성질.제비박막위비정결구,유궤츤저ZnO∶SnO투명도전막적최저전조솔약10-2Ω*cm,가견광평균투과솔＞82%.박막중적양편리이상화학배비,양공위시박막중재류자적주요래원.
