机械工程学报
機械工程學報
궤계공정학보
CHINESE JOURNAL OF MECHANICAL ENGINEERING
2004年
12期
56-59
,共4页
李戈扬%劳技军%田家万%韩增虎
李戈颺%勞技軍%田傢萬%韓增虎
리과양%로기군%전가만%한증호
AlN/VN纳米多层膜%亚稳相%立方氮化铝%超硬效应
AlN/VN納米多層膜%亞穩相%立方氮化鋁%超硬效應
AlN/VN납미다층막%아은상%립방담화려%초경효응
研究了亚稳相立方AlN(c-AlN)在AlN/VN纳米多层膜中的形成条件以及c-AlN对纳米多层膜力学性能的影响.一系列不同调制周期的AlN/VN多层膜采用反应磁控溅射法制备,多层膜的微结构采用小角度X射线衍射和高分辨电子显微镜表征,利用微力学探针测量了多层膜的力学性能.结果表明:亚稳的c-AlN因VN的"模板"作用生成于小调制周期的纳米多层膜中,并与VN形成共格外延生长的超晶格柱状晶,从而使多层膜产生硬度和弹性模量升高的超硬效应.随调制周期的增大,c-AlN转变为稳定的六方结构(h-AlN),使多层膜形成纳米晶的"砖墙"型结构.此时多层膜的硬度和弹性模量与混合法则所得值相当.AlN/VN纳米多层膜在小调制周期下产生的超硬效应与c-AlN形成带来的性质变化以及c-AlN与VN形成共格结构所产生的界面交变应变场有关.
研究瞭亞穩相立方AlN(c-AlN)在AlN/VN納米多層膜中的形成條件以及c-AlN對納米多層膜力學性能的影響.一繫列不同調製週期的AlN/VN多層膜採用反應磁控濺射法製備,多層膜的微結構採用小角度X射線衍射和高分辨電子顯微鏡錶徵,利用微力學探針測量瞭多層膜的力學性能.結果錶明:亞穩的c-AlN因VN的"模闆"作用生成于小調製週期的納米多層膜中,併與VN形成共格外延生長的超晶格柱狀晶,從而使多層膜產生硬度和彈性模量升高的超硬效應.隨調製週期的增大,c-AlN轉變為穩定的六方結構(h-AlN),使多層膜形成納米晶的"磚牆"型結構.此時多層膜的硬度和彈性模量與混閤法則所得值相噹.AlN/VN納米多層膜在小調製週期下產生的超硬效應與c-AlN形成帶來的性質變化以及c-AlN與VN形成共格結構所產生的界麵交變應變場有關.
연구료아은상립방AlN(c-AlN)재AlN/VN납미다층막중적형성조건이급c-AlN대납미다층막역학성능적영향.일계렬불동조제주기적AlN/VN다층막채용반응자공천사법제비,다층막적미결구채용소각도X사선연사화고분변전자현미경표정,이용미역학탐침측량료다층막적역학성능.결과표명:아은적c-AlN인VN적"모판"작용생성우소조제주기적납미다층막중,병여VN형성공격외연생장적초정격주상정,종이사다층막산생경도화탄성모량승고적초경효응.수조제주기적증대,c-AlN전변위은정적륙방결구(h-AlN),사다층막형성납미정적"전장"형결구.차시다층막적경도화탄성모량여혼합법칙소득치상당.AlN/VN납미다층막재소조제주기하산생적초경효응여c-AlN형성대래적성질변화이급c-AlN여VN형성공격결구소산생적계면교변응변장유관.
