CAJ | 학술논문

为了对高速运动测量装置进行校准,研制了一种闭环控制的高速运动测量机,该测量机可根据需要设定运动参数,按照正弦波和三角波速度曲线进行高速运动.高速运动测量机采用了花岗岩工作台和空气静压导轨技术,其高速驱动控制系统采用直线电机和PMAC运动控制卡,并以反射式钢带光栅作为位移检测和反馈控制传感器.采用铷原子钟作为控制数据采集的时间基准,通过精密时间间隔发生器同步控制基于现场可编程门阵列(FPGA)的高速数据采集系统,实现对位移的高速数据采集.试验表明,采用正弦波和三角波速度曲线进行高速运动时,高速运动测量机在300 mm行程的速度已分别达到5.3 m/s和7.6 m/s,最大位移跟随误差分别为-1.56～1.01 mm和-1.41～2.23 mm.该测量机可用于高速运动装置的校准测量.
위료대고속운동측량장치진행교준,연제료일충폐배공제적고속운동측량궤,해측량궤가근거수요설정운동삼수,안조정현파화삼각파속도곡선진행고속운동.고속운동측량궤채용료화강암공작태화공기정압도궤기술,기고속구동공제계통채용직선전궤화PMAC운동공제잡,병이반사식강대광책작위위이검측화반궤공제전감기.채용여원자종작위공제수거채집적시간기준,통과정밀시간간격발생기동보공제기우현장가편정문진렬(FPGA)적고속수거채집계통,실현대위이적고속수거채집.시험표명,채용정현파화삼각파속도곡선진행고속운동시,고속운동측량궤재300 mm행정적속도이분별체도5.3 m/s화7.6 m/s,최대위이근수오차분별위-1.56～1.01 mm화-1.41～2.23 mm.해측량궤가용우고속운동장치적교준측량.