真空科学与技术学报
真空科學與技術學報
진공과학여기술학보
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE AND TECHNOLOGY
2011年
3期
352-356
,共5页
顾磊磊%郑凯波%孙大林%莫晓亮%陈国荣
顧磊磊%鄭凱波%孫大林%莫曉亮%陳國榮
고뢰뢰%정개파%손대림%막효량%진국영
ZnO纳米线阵列%湿度传感器%电容%电阻
ZnO納米線陣列%濕度傳感器%電容%電阻
ZnO납미선진렬%습도전감기%전용%전조
采用水热法在Au/Ni叉指电极上原位生长出整齐的ZnO纳米线阵列.纳米线的平均直径和长度分别为50 nm和5μm,且沿[0001]方向高度择优生长.测试了基于纳米线阵列的湿敏器件对不同湿度电容和电阻响应,并分析了它的工作机制.实验结果表明,这些器件具有相对较大的灵敏度和较短的响应和恢复时间,从而说明ZnO纳米线阵列在湿敏领域有很好的应用前景.
採用水熱法在Au/Ni扠指電極上原位生長齣整齊的ZnO納米線陣列.納米線的平均直徑和長度分彆為50 nm和5μm,且沿[0001]方嚮高度擇優生長.測試瞭基于納米線陣列的濕敏器件對不同濕度電容和電阻響應,併分析瞭它的工作機製.實驗結果錶明,這些器件具有相對較大的靈敏度和較短的響應和恢複時間,從而說明ZnO納米線陣列在濕敏領域有很好的應用前景.
채용수열법재Au/Ni차지전겁상원위생장출정제적ZnO납미선진렬.납미선적평균직경화장도분별위50 nm화5μm,차연[0001]방향고도택우생장.측시료기우납미선진렬적습민기건대불동습도전용화전조향응,병분석료타적공작궤제.실험결과표명,저사기건구유상대교대적령민도화교단적향응화회복시간,종이설명ZnO납미선진렬재습민영역유흔호적응용전경.