CAJ | 학술논문

设计了一种基于相变冷却方式工作的大功率二极管激光器,该激光器的散热器是基于节流式喷射微槽道相变冷却的原理,使冷却液在微槽中的气化率达到了70％,大幅度提高了冷却效果,减小了冷却液流量,在同样制冷功率条件下,冷却液流量仅为水冷方式的1/10.利用相变冷却器进行了背冷式半导体激光器叠阵封装工艺的研究,采用复合热沉与AuSn硬焊料结合的新型封装工艺,完成了准连续3 kW叠阵的封装.实验测试表明,单元叠阵的输出功率达到3.01 kW,占空比10％,封装间距为1.3 mm,光谱宽度小于3.5 nm.最大功率输出时所需R134a冷却液的流量仅为110 mL/min.
설계료일충기우상변냉각방식공작적대공솔이겁관격광기,해격광기적산열기시기우절류식분사미조도상변냉각적원리,사냉각액재미조중적기화솔체도료70％,대폭도제고료냉각효과,감소료냉각액류량,재동양제랭공솔조건하,냉각액류량부위수랭방식적1/10.이용상변냉각기진행료배랭식반도체격광기첩진봉장공예적연구,채용복합열침여AuSn경한료결합적신형봉장공예,완성료준련속3 kW첩진적봉장.실험측시표명,단원첩진적수출공솔체도3.01 kW,점공비10％,봉장간거위1.3 mm,광보관도소우3.5 nm.최대공솔수출시소수R134a냉각액적류량부위110 mL/min.