计量学报
計量學報
계량학보
ACTA METROLOGICA SINICA
2010年
z2期
204-207
,共4页
计量学%光学测量%平面度%Fritz三面互检法
計量學%光學測量%平麵度%Fritz三麵互檢法
계량학%광학측량%평면도%Fritz삼면호검법
针对不同精度平晶的测量要求,介绍了3种平晶平面度的测量方法.阐述了比较测量的原理以及测量精度的局限性.对于高精度平晶的检测,介绍了2种绝对测量的方法.对这2种方法编制了模拟程序和数据处理程序,并进行了实验.不同方法的测试结果符合较好,面形评价数据在相同数量级上,验证了测试方法的可行性,实现了无参考面的高精度测量.
針對不同精度平晶的測量要求,介紹瞭3種平晶平麵度的測量方法.闡述瞭比較測量的原理以及測量精度的跼限性.對于高精度平晶的檢測,介紹瞭2種絕對測量的方法.對這2種方法編製瞭模擬程序和數據處理程序,併進行瞭實驗.不同方法的測試結果符閤較好,麵形評價數據在相同數量級上,驗證瞭測試方法的可行性,實現瞭無參攷麵的高精度測量.
침대불동정도평정적측량요구,개소료3충평정평면도적측량방법.천술료비교측량적원리이급측량정도적국한성.대우고정도평정적검측,개소료2충절대측량적방법.대저2충방법편제료모의정서화수거처리정서,병진행료실험.불동방법적측시결과부합교호,면형평개수거재상동수량급상,험증료측시방법적가행성,실현료무삼고면적고정도측량.
