一种实时测量和表征超薄SiO2薄膜的实验方法
일충실시측량화표정초박SiO2박막적실험방법
In situ FT-IR characterization of ultra-thin SiO2 film deposited using sputtering-type cyclotron resonance microwave plasma at room temperature
  • 万方数据
    物理实验 물리실험
    PHYSICS EXPERIMENTATION
    2000年 8期 12-13 ,共2页

    贾艳%钟殿强%齐秀英%刘益春

    가염%종전강%제수영%류익춘

    微波等离子体%超薄SiO2薄膜%红外反射吸收光谱 微波等離子體%超薄SiO2薄膜%紅外反射吸收光譜
    미파등리자체%초박SiO2박막%홍외반사흡수광보
    采用p-偏振傅里叶变换红外反射吸收光谱技术,实现了对溅射型电子回旋共振微波等离子体技术制备的超薄SiO2薄膜的实时监测和表征.实验表明:该方法是一种无损伤性、快速而准确的实时分析SiO2薄膜质量的有效方法.
    채용p-편진부리협변환홍외반사흡수광보기술,실현료대천사형전자회선공진미파등리자체기술제비적초박SiO2박막적실시감측화표정.실험표명:해방법시일충무손상성、쾌속이준학적실시분석SiO2박막질량적유효방법.
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