微细加工技术
微細加工技術
미세가공기술
MICROFABRICATION TECHNOLOGY
2001年
2期
9-14,60
,共7页
赵永凯%黄惠杰%路敦武%杜龙龙%杨良民%袁才来%蒋宝财%王润文
趙永凱%黃惠傑%路敦武%杜龍龍%楊良民%袁纔來%蔣寶財%王潤文
조영개%황혜걸%로돈무%두룡룡%양량민%원재래%장보재%왕윤문
接近式光刻%准分子激光光刻%分辨率改善%斜照明
接近式光刻%準分子激光光刻%分辨率改善%斜照明
접근식광각%준분자격광광각%분변솔개선%사조명
根据菲涅尔-基尔霍夫衍射公式,推导出斜照明接近式光刻系统中硅片表面的光强分布,并在几种条件下进行了模拟数值计算,分析了斜照技术的实用条件及改善光刻分辨率的效果和应用前景.
根據菲涅爾-基爾霍伕衍射公式,推導齣斜照明接近式光刻繫統中硅片錶麵的光彊分佈,併在幾種條件下進行瞭模擬數值計算,分析瞭斜照技術的實用條件及改善光刻分辨率的效果和應用前景.
근거비열이-기이곽부연사공식,추도출사조명접근식광각계통중규편표면적광강분포,병재궤충조건하진행료모의수치계산,분석료사조기술적실용조건급개선광각분변솔적효과화응용전경.
