半导体技术
半導體技術
반도체기술
SEMICONDUCTOR TECHNOLOGY
2003年
12期
53-56
,共4页
苗庆海%杜文华%张兴华%吴洪江%张德骏
苗慶海%杜文華%張興華%吳洪江%張德駿
묘경해%두문화%장흥화%오홍강%장덕준
红外热像%峰值结温%热谱
紅外熱像%峰值結溫%熱譜
홍외열상%봉치결온%열보
从芯片表面的红外热像图中提取出了发射区热像图,提出了一种定量描述晶体管结温不均匀性的新方法,即发射区热谱分析方法.发射区热谱是发射区归一化面积的温度谱,也就是发射区温度所占有的发射区归一化面积对温度的直方图.本文提供了由红外热像图导出发射区热谱的过程及结果.
從芯片錶麵的紅外熱像圖中提取齣瞭髮射區熱像圖,提齣瞭一種定量描述晶體管結溫不均勻性的新方法,即髮射區熱譜分析方法.髮射區熱譜是髮射區歸一化麵積的溫度譜,也就是髮射區溫度所佔有的髮射區歸一化麵積對溫度的直方圖.本文提供瞭由紅外熱像圖導齣髮射區熱譜的過程及結果.
종심편표면적홍외열상도중제취출료발사구열상도,제출료일충정량묘술정체관결온불균균성적신방법,즉발사구열보분석방법.발사구열보시발사구귀일화면적적온도보,야취시발사구온도소점유적발사구귀일화면적대온도적직방도.본문제공료유홍외열상도도출발사구열보적과정급결과.
