汕头大学学报(自然科学版)
汕頭大學學報(自然科學版)
산두대학학보(자연과학판)
JOURNAL OF SHANTOU UNIVERSITY (NATURAL SCIENCE EDITION)
2004年
2期
7-12
,共6页
池凌飞%林揆训%林璇英%余云鹏%余楚迎
池凌飛%林揆訓%林璇英%餘雲鵬%餘楚迎
지릉비%림규훈%림선영%여운붕%여초영
电子能量分布函数%多峰结构%等离子体振荡
電子能量分佈函數%多峰結構%等離子體振盪
전자능량분포함수%다봉결구%등리자체진탕
应用调谐的单探针对氩气射频辉光放电等离子体进行诊断,得到了不遵循双Maxwell分布的电子能量分布函数.经过分析后,指出等离子体振荡是产生这种结构的原因.并且观测到了氩气射频辉光放电等离子体的电子平均能量和浓度随放电气压下降而单调上升的变化.
應用調諧的單探針對氬氣射頻輝光放電等離子體進行診斷,得到瞭不遵循雙Maxwell分佈的電子能量分佈函數.經過分析後,指齣等離子體振盪是產生這種結構的原因.併且觀測到瞭氬氣射頻輝光放電等離子體的電子平均能量和濃度隨放電氣壓下降而單調上升的變化.
응용조해적단탐침대아기사빈휘광방전등리자체진행진단,득도료불준순쌍Maxwell분포적전자능량분포함수.경과분석후,지출등리자체진탕시산생저충결구적원인.병차관측도료아기사빈휘광방전등리자체적전자평균능량화농도수방전기압하강이단조상승적변화.
