材料科学与工程学报
材料科學與工程學報
재료과학여공정학보
MATERIALS SCIENCE AND ENGINEERING
2005年
3期
422-424
,共3页
张际亮%沃银花%郦剑%甘正浩
張際亮%沃銀花%酈劍%甘正浩
장제량%옥은화%역검%감정호
铝基SiOx膜%APVCD%滑动磨损
鋁基SiOx膜%APVCD%滑動磨損
려기SiOx막%APVCD%활동마손
本文采用低温常压CVD方法制备铝基SiOx陶瓷膜层.以黄铜为对磨材料,使用销-盘式磨损试验机对比研究纯铝表面与SiOx膜层的滑动磨损性能,通过SEM分析磨损的表面形貌并分析其磨损机理.结果表明纯铝表面发生粘着磨损,存在大量塑性变形和折叠,导致片状脱落,磨损率高;SiOx薄膜硬度较高,存在孔隙,表面发生塑性变形、崩塌和磨粒磨损;因薄膜孔隙具有储存润滑剂(水)的作用,磨损率明显低于对比纯铝样品;随沉积时间增加,SiOx膜层变厚,承载能力提高,磨损量减小.
本文採用低溫常壓CVD方法製備鋁基SiOx陶瓷膜層.以黃銅為對磨材料,使用銷-盤式磨損試驗機對比研究純鋁錶麵與SiOx膜層的滑動磨損性能,通過SEM分析磨損的錶麵形貌併分析其磨損機理.結果錶明純鋁錶麵髮生粘著磨損,存在大量塑性變形和摺疊,導緻片狀脫落,磨損率高;SiOx薄膜硬度較高,存在孔隙,錶麵髮生塑性變形、崩塌和磨粒磨損;因薄膜孔隙具有儲存潤滑劑(水)的作用,磨損率明顯低于對比純鋁樣品;隨沉積時間增加,SiOx膜層變厚,承載能力提高,磨損量減小.
본문채용저온상압CVD방법제비려기SiOx도자막층.이황동위대마재료,사용소-반식마손시험궤대비연구순려표면여SiOx막층적활동마손성능,통과SEM분석마손적표면형모병분석기마손궤리.결과표명순려표면발생점착마손,존재대량소성변형화절첩,도치편상탈락,마손솔고;SiOx박막경도교고,존재공극,표면발생소성변형、붕탑화마립마손;인박막공극구유저존윤활제(수)적작용,마손솔명현저우대비순려양품;수침적시간증가,SiOx막층변후,승재능력제고,마손량감소.
