光电子·激光
光電子·激光
광전자·격광
JOURNAL OF OPTOECTRONICS·LASER
2008年
9期
1185-1187
,共3页
田怡春%胡礼中%梁秀萍%张红治%潘石
田怡春%鬍禮中%樑秀萍%張紅治%潘石
전이춘%호례중%량수평%장홍치%반석
粘合集成%微探尖%液相外延%扫描近场光学显微术
粘閤集成%微探尖%液相外延%掃描近場光學顯微術
점합집성%미탐첨%액상외연%소묘근장광학현미술
介绍了应用于扫描近场光学显微术(SNOM)传感头的GaAs微探尖与垂直腔表面发射激光器(VCSEL)的粘合集成方法,并利用扫描电子显微镜对集成后的微探尖与VCSEL进行了表征.结果表明,该种方法能够成功地将微探尖转移并集成到VCSEL的出光窗口上,实现微探尖与出光窗口的对准,并且整个过程中不会对微探尖造成损伤.这种技术对进一步实现由带有PIN光探测器的VCSEL与GaAs微探尖的混合集成式SNOM传感头有着重要的应用价值.
介紹瞭應用于掃描近場光學顯微術(SNOM)傳感頭的GaAs微探尖與垂直腔錶麵髮射激光器(VCSEL)的粘閤集成方法,併利用掃描電子顯微鏡對集成後的微探尖與VCSEL進行瞭錶徵.結果錶明,該種方法能夠成功地將微探尖轉移併集成到VCSEL的齣光窗口上,實現微探尖與齣光窗口的對準,併且整箇過程中不會對微探尖造成損傷.這種技術對進一步實現由帶有PIN光探測器的VCSEL與GaAs微探尖的混閤集成式SNOM傳感頭有著重要的應用價值.
개소료응용우소묘근장광학현미술(SNOM)전감두적GaAs미탐첨여수직강표면발사격광기(VCSEL)적점합집성방법,병이용소묘전자현미경대집성후적미탐첨여VCSEL진행료표정.결과표명,해충방법능구성공지장미탐첨전이병집성도VCSEL적출광창구상,실현미탐첨여출광창구적대준,병차정개과정중불회대미탐첨조성손상.저충기술대진일보실현유대유PIN광탐측기적VCSEL여GaAs미탐첨적혼합집성식SNOM전감두유착중요적응용개치.
