高等学校化学学报
高等學校化學學報
고등학교화학학보
CHEMICAL JOURNAL OF CHINESE UNIVERSITIES
2009年
1期
148-151
,共4页
王丽丽%姜伟棣%赵利军%宫杰%郑伟涛
王麗麗%薑偉棣%趙利軍%宮傑%鄭偉濤
왕려려%강위체%조리군%궁걸%정위도
ε-Fe3N薄膜%晶粒尺寸%磁性%交换作用长度
ε-Fe3N薄膜%晶粒呎吋%磁性%交換作用長度
ε-Fe3N박막%정립척촌%자성%교환작용장도
采用直流磁控溅射方法,以Si(100) 单晶片为衬底,在衬底温度为150～450 ℃的范围内得到了ε-Fe3N薄膜样品.利用 XRD,SEM和VSM等表征手段,研究了衬底温度对ε-Fe3N薄膜的生长和磁性的影响.实验结果表明,随着衬底温度的升高,薄膜的生长速率,晶粒尺寸和单位质量磁化强度均增大,而矫顽力呈现先增加后减小的变化趋势,当衬底温度为350 ℃时,矫顽力达到最大值18.72 kA/m,可以认为此时薄膜样品的晶粒尺寸接近于交换作用长度.
採用直流磁控濺射方法,以Si(100) 單晶片為襯底,在襯底溫度為150～450 ℃的範圍內得到瞭ε-Fe3N薄膜樣品.利用 XRD,SEM和VSM等錶徵手段,研究瞭襯底溫度對ε-Fe3N薄膜的生長和磁性的影響.實驗結果錶明,隨著襯底溫度的升高,薄膜的生長速率,晶粒呎吋和單位質量磁化彊度均增大,而矯頑力呈現先增加後減小的變化趨勢,噹襯底溫度為350 ℃時,矯頑力達到最大值18.72 kA/m,可以認為此時薄膜樣品的晶粒呎吋接近于交換作用長度.
채용직류자공천사방법,이Si(100) 단정편위츤저,재츤저온도위150～450 ℃적범위내득도료ε-Fe3N박막양품.이용 XRD,SEM화VSM등표정수단,연구료츤저온도대ε-Fe3N박막적생장화자성적영향.실험결과표명,수착츤저온도적승고,박막적생장속솔,정립척촌화단위질량자화강도균증대,이교완력정현선증가후감소적변화추세,당츤저온도위350 ℃시,교완력체도최대치18.72 kA/m,가이인위차시박막양품적정립척촌접근우교환작용장도.
