超临界二氧化碳(SCCO2)无损伤清洗
초림계이양화탄(SCCO2)무손상청세
Damage-Free Cleaning Technology with Supercritical CO2
  • 万方数据
    微纳电子技术 미납전자기술
    MICRONANOELECTRONIC TECHNOLOGY
    2010年 2期 65-70,79 ,共7页

    王磊%惠瑜%高超群%景玉鹏

    왕뢰%혜유%고초군%경옥붕

    RCA清洗%硅片清洗%无损伤清洗%超临界二氧化碳%超临界流体%干燥 RCA清洗%硅片清洗%無損傷清洗%超臨界二氧化碳%超臨界流體%榦燥
    RCA청세%규편청세%무손상청세%초림계이양화탄%초림계류체%간조
    简要回顾了传统RCA清洗工艺的历史背景和清洗原理,介绍了RCA清洗随着工艺节点减小存在的局限性.在此基础上,阐述了以超临界二氧化碳(SCCO2)为媒质的新型清洗工艺,该工艺流程可以同时实现超临界流体清洗和干燥.结合自主研发的绿色环保二氧化碳超临界半导体清洗设备,论述了利用SCCO2对Si片进行无损伤清洗的工艺原理和工艺流程.分析了近年来国内外对SCCO2清洗的研究进展,展示了其在清洗方面的巨大潜力以及在微电子行业应用中的有效性和优越性,其研究成果有利于推动下一代清洗工艺的发展.
    간요회고료전통RCA청세공예적역사배경화청세원리,개소료RCA청세수착공예절점감소존재적국한성.재차기출상,천술료이초림계이양화탄(SCCO2)위매질적신형청세공예,해공예류정가이동시실현초림계류체청세화간조.결합자주연발적록색배보이양화탄초림계반도체청세설비,논술료이용SCCO2대Si편진행무손상청세적공예원리화공예류정.분석료근년래국내외대SCCO2청세적연구진전,전시료기재청세방면적거대잠력이급재미전자행업응용중적유효성화우월성,기연구성과유리우추동하일대청세공예적발전.
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