黑龙江大学自然科学学报
黑龍江大學自然科學學報
흑룡강대학자연과학학보
JOURNAL OF NATURAL SCIENCE OF HEILONGJIANG UNIVERSITY
2010年
6期
723-726
,共4页
PET%氩离子%溅射镀膜%Cu膜%结合力
PET%氬離子%濺射鍍膜%Cu膜%結閤力
PET%아리자%천사도막%Cu막%결합력
为了研究Ar离子注入对薄膜沉积的影响,使用2 keV的氩离子对PET进行表面注入,注入剂量为5×1011ions·cm-2,然后用离子溅射镀膜法,在PET表面均匀地沉积一层Cu膜,用台阶仪、俄歇探针、原子力显微镜等对其进行测试分析.结果表明,该合金膜的厚度为490 nm,膜表面平整,无缺陷.对该合金膜进行纳米划痕测试,得到临界载荷为8.5 mN.实验结果证明,Ar离子注入对薄膜性能有提高.
為瞭研究Ar離子註入對薄膜沉積的影響,使用2 keV的氬離子對PET進行錶麵註入,註入劑量為5×1011ions·cm-2,然後用離子濺射鍍膜法,在PET錶麵均勻地沉積一層Cu膜,用檯階儀、俄歇探針、原子力顯微鏡等對其進行測試分析.結果錶明,該閤金膜的厚度為490 nm,膜錶麵平整,無缺陷.對該閤金膜進行納米劃痕測試,得到臨界載荷為8.5 mN.實驗結果證明,Ar離子註入對薄膜性能有提高.
위료연구Ar리자주입대박막침적적영향,사용2 keV적아리자대PET진행표면주입,주입제량위5×1011ions·cm-2,연후용리자천사도막법,재PET표면균균지침적일층Cu막,용태계의、아헐탐침、원자력현미경등대기진행측시분석.결과표명,해합금막적후도위490 nm,막표면평정,무결함.대해합금막진행납미화흔측시,득도림계재하위8.5 mN.실험결과증명,Ar리자주입대박막성능유제고.
