材料科学与工程
材料科學與工程
재료과학여공정
MATERIALS SCIENCE AND ENGINEERING
2000年
3期
105-109
,共5页
田达晰%杨德仁%徐明生%阙端麟
田達晰%楊德仁%徐明生%闕耑麟
전체석%양덕인%서명생%궐단린
本文从气氛、热场、坩锅材料、埚位、埚转、晶转、变参数拉晶等几个方面论述了CZ硅单晶初始氧浓度和氧的轴向均匀性的控制方法,着重研究了变参数拉晶对氧的轴向均匀性控制的影响.
本文從氣氛、熱場、坩鍋材料、堝位、堝轉、晶轉、變參數拉晶等幾箇方麵論述瞭CZ硅單晶初始氧濃度和氧的軸嚮均勻性的控製方法,著重研究瞭變參數拉晶對氧的軸嚮均勻性控製的影響.
본문종기분、열장、감과재료、과위、과전、정전、변삼수랍정등궤개방면논술료CZ규단정초시양농도화양적축향균균성적공제방법,착중연구료변삼수랍정대양적축향균균성공제적영향.
