真空科学与技术学报
真空科學與技術學報
진공과학여기술학보
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE AND TECHNOLOGY
2005年
1期
61-64
,共4页
梅芳华%邵楠%魏仑%李戈扬
梅芳華%邵楠%魏崙%李戈颺
매방화%소남%위륜%리과양
(Ti,Al)N薄膜 反应溅射 微结构 力学性能
(Ti,Al)N薄膜 反應濺射 微結構 力學性能
(Ti,Al)N박막 반응천사 미결구 역학성능
采用Ti-Al复合靶在不同氮分压下制备了一系列(Ti,Al)N薄膜,用EDS、XRD、TEM和微力学探针表征了薄膜的沉积速率、化学成分、微结构和力学性能.结果表明,氮分压对(Ti,Al)N薄膜影响显著:合适的氮分压可以得到化学计量比的(Ti,Al)N薄膜,薄膜为单相组织,并呈现(111)择优取向,最高硬度和弹性模量分别达到34.4GPa和392GPa;过低的氮分压不但会造成薄膜贫氮,而且薄膜中的Al含量偏低,硬度不高;过高的氮分压下,由于存在"靶中毒"现象,尽管薄膜的成分无明显变化,但会大大降低其沉积速率,并使薄膜形成纳米晶或非晶态结构,薄膜的硬度也较低.
採用Ti-Al複閤靶在不同氮分壓下製備瞭一繫列(Ti,Al)N薄膜,用EDS、XRD、TEM和微力學探針錶徵瞭薄膜的沉積速率、化學成分、微結構和力學性能.結果錶明,氮分壓對(Ti,Al)N薄膜影響顯著:閤適的氮分壓可以得到化學計量比的(Ti,Al)N薄膜,薄膜為單相組織,併呈現(111)擇優取嚮,最高硬度和彈性模量分彆達到34.4GPa和392GPa;過低的氮分壓不但會造成薄膜貧氮,而且薄膜中的Al含量偏低,硬度不高;過高的氮分壓下,由于存在"靶中毒"現象,儘管薄膜的成分無明顯變化,但會大大降低其沉積速率,併使薄膜形成納米晶或非晶態結構,薄膜的硬度也較低.
채용Ti-Al복합파재불동담분압하제비료일계렬(Ti,Al)N박막,용EDS、XRD、TEM화미역학탐침표정료박막적침적속솔、화학성분、미결구화역학성능.결과표명,담분압대(Ti,Al)N박막영향현저:합괄적담분압가이득도화학계량비적(Ti,Al)N박막,박막위단상조직,병정현(111)택우취향,최고경도화탄성모량분별체도34.4GPa화392GPa;과저적담분압불단회조성박막빈담,이차박막중적Al함량편저,경도불고;과고적담분압하,유우존재"파중독"현상,진관박막적성분무명현변화,단회대대강저기침적속솔,병사박막형성납미정혹비정태결구,박막적경도야교저.
