光谱实验室
光譜實驗室
광보실험실
CHINESE JOURNAL OF SPECTROSCOPY LABORATORY
2008年
3期
425-427
,共3页
刘著光%杨伟锋%吕英%黄火林%吴正云
劉著光%楊偉鋒%呂英%黃火林%吳正雲
류저광%양위봉%려영%황화림%오정운
RF磁控溅射%透明导电薄膜%AZO薄膜.
RF磁控濺射%透明導電薄膜%AZO薄膜.
RF자공천사%투명도전박막%AZO박막.
以ZnO:Al2O3为靶材在石英玻璃衬底上射频磁控溅射制备多晶ZnO:Al(AZO)薄膜,通过XRD、AFM以及Hall效应、透射光谱等测试研究了RF溅射压强对薄膜结构、电学与光学性能的影响.分析表明:所制备的薄膜具有c轴择优取向,当压强为1.2Pa时薄膜的电阻率降至最低(2.7×10-3Ω·cm).薄膜在可见光区平均透射率高于90%,光学带隙均大于本征ZnO的禁带宽度.
以ZnO:Al2O3為靶材在石英玻璃襯底上射頻磁控濺射製備多晶ZnO:Al(AZO)薄膜,通過XRD、AFM以及Hall效應、透射光譜等測試研究瞭RF濺射壓彊對薄膜結構、電學與光學性能的影響.分析錶明:所製備的薄膜具有c軸擇優取嚮,噹壓彊為1.2Pa時薄膜的電阻率降至最低(2.7×10-3Ω·cm).薄膜在可見光區平均透射率高于90%,光學帶隙均大于本徵ZnO的禁帶寬度.
이ZnO:Al2O3위파재재석영파리츤저상사빈자공천사제비다정ZnO:Al(AZO)박막,통과XRD、AFM이급Hall효응、투사광보등측시연구료RF천사압강대박막결구、전학여광학성능적영향.분석표명:소제비적박막구유c축택우취향,당압강위1.2Pa시박막적전조솔강지최저(2.7×10-3Ω·cm).박막재가견광구평균투사솔고우90%,광학대극균대우본정ZnO적금대관도.
