功能材料
功能材料
공능재료
JOURNAL OF FUNCTIONAL MATERIALS
2010年
6期
1008-1011
,共4页
钟爱华%谭劲%陈圣昌%包鲁明%艾飞%李飞
鐘愛華%譚勁%陳聖昌%包魯明%艾飛%李飛
종애화%담경%진골창%포로명%애비%리비
超声喷雾热解法%衬底温度%形貌%室温光致发光
超聲噴霧熱解法%襯底溫度%形貌%室溫光緻髮光
초성분무열해법%츤저온도%형모%실온광치발광
采用超声喷雾热解法在不同衬底温度条件下沉积了N-Al共掺杂ZnO薄膜,衬底为普通硅酸盐玻璃.利用X射线衍射仪、原子力显微镜和荧光光谱仪表征了样品的晶体结构、形貌及室温光致发光性能.结果表明,ZnO颗粒尺寸随着衬底温度的升高而逐渐增大;低温下沉积的样品发光光谱中缺陷发射光占主导,随着衬底温度的升高这些缺陷发射光强度逐渐减弱,当温度升高到450℃时只有紫外发射光.缺陷发射光强度的减弱意味着薄膜缺陷浓度减小、晶体趋于完整,同时反映出施主型缺陷浓度随衬底温度的升高而逐渐减小,这对减弱ZnO薄膜p型掺杂时Vo或Zni等施主缺陷的自补偿效应很有意义.
採用超聲噴霧熱解法在不同襯底溫度條件下沉積瞭N-Al共摻雜ZnO薄膜,襯底為普通硅痠鹽玻璃.利用X射線衍射儀、原子力顯微鏡和熒光光譜儀錶徵瞭樣品的晶體結構、形貌及室溫光緻髮光性能.結果錶明,ZnO顆粒呎吋隨著襯底溫度的升高而逐漸增大;低溫下沉積的樣品髮光光譜中缺陷髮射光佔主導,隨著襯底溫度的升高這些缺陷髮射光彊度逐漸減弱,噹溫度升高到450℃時隻有紫外髮射光.缺陷髮射光彊度的減弱意味著薄膜缺陷濃度減小、晶體趨于完整,同時反映齣施主型缺陷濃度隨襯底溫度的升高而逐漸減小,這對減弱ZnO薄膜p型摻雜時Vo或Zni等施主缺陷的自補償效應很有意義.
채용초성분무열해법재불동츤저온도조건하침적료N-Al공참잡ZnO박막,츤저위보통규산염파리.이용X사선연사의、원자력현미경화형광광보의표정료양품적정체결구、형모급실온광치발광성능.결과표명,ZnO과립척촌수착츤저온도적승고이축점증대;저온하침적적양품발광광보중결함발사광점주도,수착츤저온도적승고저사결함발사광강도축점감약,당온도승고도450℃시지유자외발사광.결함발사광강도적감약의미착박막결함농도감소、정체추우완정,동시반영출시주형결함농도수츤저온도적승고이축점감소,저대감약ZnO박막p형참잡시Vo혹Zni등시주결함적자보상효응흔유의의.
